[发明专利]用于以由空间选择性波长滤波器所修改的照明源将样本成像的系统及方法

摘要

本发明揭示一种用于以经光谱滤波的照明源来照明样本的系统，所述系统包含经配置以产生具有第一组波长的照明光束的照明源。此外，所述系统包含波长滤波子系统、样本载台、照明子系统、检测器，及用以聚焦来自一或多个样本的表面的照明且将所述聚集的照明聚焦到所述检测器的物镜。此外，所述波长滤波子系统包含经定位以将空间色散引入到所述光束中的一或多个第一色散元件、空间滤波器元件，及经定位以从所述光束中移除空间色散的一或多个色散元件。所述空间滤波器元件经进一步定位以传递所述光束的包含第二组波长的至少一部分，其中所述第二组波长是所述第一组波长的子组。

主权项

一种具有波长选择控制的紫外线照明源，其包括：照明源，其经配置以产生包含第一组波长的照明光束，第一组一或多个光学元件，其中所述第一组一或多个光学元件包含经定位以将空间色散引入到所述光束中的一或多个第一色散元件；空间滤波器元件，其中所述空间滤波器元件定位在与所述照明源共轭的平面中，其中所述空间滤波器元件经配置以传递所述光束的至少一部分，其中从所述空间滤波器元件引导的所述光束包含第二组波长，其中所述第二组波长是所述第一组波长的子组；及第二组一或多个光学元件，其中所述第二组一或多个光学元件经定位以聚集所述光束的至少一部分，其中所述第二组一或多个光学元件包含经定位以从所述光束中移除空间色散的一或多个第二色散元件。