[发明专利]用于以由空间选择性波长滤波器所修改的照明源将样本成像的系统及方法

权利要求书

1.一种具有波长选择控制的紫外线照明源，其包括：

照明源，其经配置以产生包含第一组波长的照明光束，

第一组一或多个光学元件，其中所述第一组一或多个光学元件包含经定位以将空间色散引入到所述光束中的一或多个第一色散元件；

空间滤波器元件，其中所述空间滤波器元件定位在与所述照明源共轭的平面中，其中所述空间滤波器元件经配置以传递所述光束的至少一部分，其中从所述空间滤波器元件引导的所述光束包含第二组波长，其中所述第二组波长是所述第一组波长的子组；及

第二组一或多个光学元件，其中所述第二组一或多个光学元件经定位以聚集所述光束的至少一部分，其中所述第二组一或多个光学元件包含经定位以从所述光束中移除空间色散的一或多个第二色散元件。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述空间滤波器元件包括具有一或多个开口的光圈，且经定位使得所述第二组波长穿过所述一或多个开口。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述空间滤波器元件包括空间光调制器。

4.根据权利要求3所述的系统，其中所述空间光调制器包含可变形镜。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述照明源包括持续激光等离子体光源。

6.根据权利要求1所述的系统，其中所述照明源包括放电源。

7.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一组光学元件或所述第二组光学元件中的至少一个包含圆柱镜。

8.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个第一色散元件或所述一或多个第二色散元件中的至少一个包含一或多个棱镜。

9.根据权利要求8所述的系统，其中所述一或多个棱镜包含一或多个棱镜阵列。

10.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个第一色散元件或所述一或多个第二色散元件中的至少一个包含一或多个衍射光栅。

11.根据权利要求10所述的系统，其中所述一或多个衍射光栅包含平面衍射光栅或曲面衍射光栅中的至少一个。

12.一种用于以经光谱滤波的照明源来照明样本的系统，其包括：

照明源，其经配置以产生包含第一组波长的照明光束；

波长滤波子系统，其包括：

第一组一或多个光学元件，其中所述第一组一或多个光学元件包含经定位以将空间色散引入到所述光束中的一或多个第一色散元件；

空间滤波器元件，其中所述空间滤波器元件定位在与所述照明源共轭的平面中，其中所述空间滤波器元件经配置以传递所述光束的至少一部分，其中从所述空间滤波器元件引导的所述光束包含第二组波长，其中所述第二组波长是所述第一组波长的子组；及

第二组一或多个光学元件，其中所述第二组一或多个光学元件经定位以聚集所述光束的至少一部分，其中所述第二组一或多个光学元件包含经定位以从所述光束移除空间色散的一或多个第二色散元件；

样本载台，其用于固定一或多个样本；

照明子系统，其经配置以经由照明路径，以所述第二组波长的至少一部分来照明所述一或多个样本的至少一部分；

检测器；及

物镜，其经配置以聚焦来自所述一或多个样本的表面的照明，且经由聚集路径来将所述聚集的照明聚焦到所述检测器，以在所述检测器上形成所述一或多个样本的所述表面的至少一部分的图像。

13.根据权利要求12所述的系统，其中所述空间滤波器元件包括具有一或多个开口的光圈，其中所述空间滤波器元件经定位使得所述第二组波长穿过所述一或多个开口。

14.根据权利要求12所述的系统，其中所述空间滤波器元件包括空间光调制器。

15.根据权利要求14所述的系统，其中所述空间光调制器包含可变形镜。

16.根据权利要求12所述的系统，其中所述照明源包括持续激光等离子体。

17.根据权利要求12所述的系统，其中所述照明源包括放电源。

18.根据权利要求12所述的系统，其中所述第一组光学元件或所述第二组光学元件中的至少一个包含圆柱镜。