[发明专利]用于以由空间选择性波长滤波器所修改的照明源将样本成像的系统及方法

说明书

技术领域

本发明大体上涉及晶片检验系统，且特定来说涉及以经光谱滤波的照明源照明晶片。

背景技术

由为检验或制造设计的光学系统可解析的最小特征大小与照明源的波长成反比。因此需要不断开发具有更短波长且在这些波长下具有更高强度的源。然而，日渐强大的照明源的开发给用于利用(harness)此照明的系统及方法的开发带来新挑战。与经设计以对跨越到紫外线中的波长有效的光学系统关联的一个重大挑战是许多材料能高度吸收短波长照明。此高吸收不仅导致性能的降低，且还可变成限制照明源的许可强度的因素。作为实例，由于照明的光的高度吸收，经设计以滤波紫外线照明源的光谱的许多涂层会被驱动到高温(被称作热加载的过程)。此热加载最终会在系统中引起组件损坏或光污染(photo-contamination)，因此，需要消除上文所识别的先前技术中的缺陷。

发明内容

根据本发明的说明性实施例，揭示一种具有波长选择控制的紫外线照明源。在一个说明性实施例中，紫外线照明源包含照明源，所述照明源经配置以产生包含第一组波长的照明光束。在另一说明性实施例中，紫外线照明源包含第一组一或多个光学元件，其中所述第一组一或多个光学元件包含经定位以将空间色散引入到光束中的一或多个第一色散元件。在另一说明性实施例中，紫外线照明源包含空间滤波器元件，其中所述空间滤波器元件定位在与照明源共轭的平面中，其中空间滤波器元件经配置以传递光束的至少一部分，其中从空间滤波器元件引导的光束包含第二组波长，其中所述第二组波长是所述第一组波长的子组。在另一说明性实施例中，紫外线照明源包含第二组一或多个光学元件，其中所述第二组一或多个光学元件经定位以聚集光束的至少一部分，其中所述第二组一或多个光学元件包含经定位以从光束中移除空间色散的一或多个第二色散元件。

根据本发明的说明性实施例，揭示一种用于以经光谱滤波的照明源照明样本的系统。在一个说明性实施例中，系统包含照明源，所述照明源经配置以产生包含第一组波长的照明光束。在另一说明性实施例中，系统包含波长滤波子系统。在另一说明性实施例中，波长滤波子系统包含第一组一或多个光学元件，其中所述第一组一或多个光学元件包含经定位以将空间色散引入到光束中的一或多个第一色散元件。在另一说明性实施例中，波长滤波子系统包含空间滤波器元件，其中所述空间滤波器元件定位在与照明源共轭的平面中，其中空间滤波器元件经配置以传递光束的至少一部分，其中从空间滤波器元件引导的光束包含第二组波长，其中所述第二组波长是所述第一组波长的子组。在另一说明性实施例中，波长滤波子系统包含第二组一或多个光学元件，其中所述第二组一或多个光学元件经定位以聚集光束的至少一部分，其中所述第二组一或多个光学元件包含经定位以从光束移除空间色散的一或多个第二色散元件。在另一说明性实施例中，系统包含用于固定一或多个样本的样本载台。在另一说明性实施例中，系统包含照明子系统，所述照明子系统经配置以经由照明路径以第二组波长的至少一部分照明一或多个样本的至少一部分。在另一说明性实施例中，系统包含检测器。在另一说明性实施例中，系统包含物镜，所述物镜经配置以聚焦来自一或多个样本的表面的照明且经由聚集路径将聚集的照明聚焦到检测器以在检测器上形成一或多个样本的表面的至少一部分的图像。