[发明专利]支持执行并行测量的多引脚探针有效
| 申请号： | 201680024452.0 | 申请日： | 2016-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN107636476B | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 朱南昌;施斌（朱斌） | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R27/14;G01R31/26;G01R19/00;G01R33/09 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开多引脚探针及用于控制此类多引脚探针以支持并行测量的方法。所述方法可包含：建立多引脚探针与测量对象之间的电接触；从所述多引脚探针中所包含的多个引脚选择两个引脚来作为电流载运引脚；从所述多引脚探针中所包含的所述多个引脚选择多于两个额外引脚来作为电压计量引脚；通过所述电流载运引脚注入电流；通过所述电压计量引脚同时测量电压信号；至少部分地基于通过所述电压计量引脚所同时测量出的所述电压信号而计算经模拟电压分布曲线；及至少部分地基于所述经模拟电压分布曲线而确定所述测量对象的一或多个处理器监测参数。 | ||
| 搜索关键词： | 支持 执行 并行 测量 引脚 探针 | ||
【主权项】：
一种系统，其包括：多引脚探针，其具有N个引脚，其中N大于四；及控制电路，其经配置以利用所述多引脚探针来对测量对象进行测量，所述控制电路经配置以：从所述多引脚探针中所包含的所述N个引脚选择两个电流载运引脚；从所述多引脚探针中所包含的所述N个引脚选择多于两个电压计量引脚；通过所述两个电流载运引脚注入电流；通过所述多于两个电压计量引脚同时测量电压信号；至少部分地基于通过所述多于两个电压计量引脚所同时测量出的所述电压信号而计算经模拟电压分布曲线；及至少部分地基于所述经模拟电压分布曲线而确定所述测量对象的一或多个处理器监测参数。
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