[发明专利]支持执行并行测量的多引脚探针

说明书

本发明公开多引脚探针及用于控制此类多引脚探针以支持并行测量的方法。所述方法可包含：建立多引脚探针与测量对象之间的电接触；从所述多引脚探针中所包含的多个引脚选择两个引脚来作为电流载运引脚；从所述多引脚探针中所包含的所述多个引脚选择多于两个额外引脚来作为电压计量引脚；通过所述电流载运引脚注入电流；通过所述电压计量引脚同时测量电压信号；至少部分地基于通过所述电压计量引脚所同时测量出的所述电压信号而计算经模拟电压分布曲线；及至少部分地基于所述经模拟电压分布曲线而确定所述测量对象的一或多个处理器监测参数。

相关申请案的交叉参考

本申请案依据35U.S.C.§119(e)主张2015年4月29日提出申请的序列号为62/154,233的美国临时申请案的权益，所述序列号为62/154,233的美国临时申请案特此以全文引用的方式并入。

技术领域

本公开大体来说涉及测量装置领域，且特定来说涉及使用多引脚探针的测量装置。

背景技术

多引脚探针是包含多个引脚的探针。通常被称为电流面内隧穿(或CIPT)的测量技术使用多引脚探针来进行对磁性隧道结电阻的测量。

更具体来说，电流面内隧穿以多个测量步骤进行测量。每一测量步骤均通过选择多引脚探针中的引脚中的四个着手。选定引脚中的两个耦合到电流源且选定引脚中的另外两个耦合到电压表。使电流通过两个电流载运引脚且通过两个电压计量引脚测量电压。接着，重复此测量步骤多次(在每一测量步骤中具有四个引脚的不同选择/耦合)以提取磁性隧道结电阻。

注意，电流面内隧穿测量过程的重复性质意味着在不同时间处执行测量步骤。还需要相对长的时间周期来完成测量过程(例如，在八个或更多个测量步骤中)，在此期间引脚可能改变位置，此导致测量出现变化及不准确性。

发明内容

本公开的实施例针对一种系统。所述系统可包含具有N个引脚的多引脚探针，其中N大于四。所述系统还可包含经配置以利用所述多引脚探针来对测量对象进行测量的控制电路。所述控制电路可经配置以：从所述多引脚探针中所包含的所述N个引脚选择两个电流载运引脚；从所述多引脚探针中所包含的所述N个引脚选择多于两个电压计量引脚；通过所述两个电流载运引脚注入电流；通过所述多于两个电压计量引脚同时测量电压信号；至少部分地基于通过所述多于两个电压计量引脚所同时测量出的所述电压信号而计算经模拟电压分布曲线；且至少部分地基于所述经模拟电压分布曲线而确定所述测量对象的一或多个处理器监测参数。

本公开的另一实施例针对一种系统。所述系统可包含具有N个引脚的多引脚探针，其中N大于四。所述系统还可包含经配置以利用所述多引脚探针来对测量对象的结参数进行测量的控制电路。所述控制电路可经配置以：从所述多引脚探针中所包含的所述N个引脚选择两个电流载运引脚；从所述多引脚探针中所包含的所述N个引脚选择多于两个电压计量引脚；通过所述两个电流载运引脚注入电流；通过所述多于两个电压计量引脚同时测量电压信号；至少部分地基于通过所述多于两个电压计量引脚所同时测量出的所述电压信号而计算经模拟电压分布曲线；且至少部分地基于所述经模拟电压分布曲线而提取所述测量对象的一或多个结参数。

本公开的额外实施例针对一种方法。所述方法可包含：建立多引脚探针与测量对象之间的电接触；从所述多引脚探针中所包含的多个引脚选择两个引脚来作为电流载运引脚；从所述多引脚探针中所包含的所述多个引脚选择多于两个额外引脚来作为电压计量引脚；通过所述电流载运引脚注入电流；通过所述电压计量引脚同时测量电压信号；至少部分地基于通过所述电压计量引脚所同时测量出的所述电压信号而计算经模拟电压分布曲线；及至少部分地基于所述经模拟电压分布曲线而确定所述测量对象的一或多个处理器监测参数。

应理解，前述一般描述及以下详细描述两者都仅具示范性及解释性，且未必限制本公开。并入本说明书中且构成本说明书的一部分的附图图解说明本公开的主题。说明与图式一起用于解释本发明的原理。