[发明专利]支持执行并行测量的多引脚探针

权利要求书

1.一种测量系统，其包括：

多引脚探针，其具有N个引脚，其中N大于四；及

控制电路，其经配置以利用所述多引脚探针来对测量对象进行测量，所述控制电路经配置以：

使用所述多引脚探针的第一种配置来执行第一电压信号测量，其中所述控制电路经配置以：

从所述多引脚探针中所包含的所述N个引脚选择第一组两个电流载运引脚；

从所述多引脚探针中所包含的所述N个引脚的剩余引脚中选择第一组三个或更多个电压计量引脚；

通过所述第一组两个电流载运引脚注入电流；

通过所述第一组三个或更多个电压计量引脚同时测量电压信号；及

基于通过所述第一组三个或更多个电压计量引脚所同时测量出的所述电压信号而计算第一电压分布曲线；

使用所述多引脚探针的第二种配置来执行第二电压信号测量，其中所述控制电路经配置以：

从所述多引脚探针中所包含的所述N个引脚的剩余引脚中选择第二组两个电流载运引脚；

从所述多引脚探针中所包含的所述N个引脚的剩余引脚中选择第二组三个或更多个电压计量引脚；

通过所述第二组两个电流载运引脚注入电流；

通过所述第二组三个或更多个电压计量引脚同时测量电压信号；及

基于通过所述第一组三个或更多个电压计量引脚所同时测量出的所述电压信号而计算第二电压分布曲线；

根据所述第一电压分布曲线及所述第二电压分布曲线校正所述多引脚探针的任意探针位置的误差；及

至少部分地基于所述第一电压分布曲线及所述第二电压分布曲线而确定所述测量对象的一或多个过程监测参数。

2.根据权利要求1所述的系统，其中第一引脚与第二引脚之间的距离为第一距离，所述第二引脚与第一引脚邻近，第三引脚与第四引脚之间的距离为第二距离，所述第四引脚与第三引脚邻近，其中所述第一距离与所述第二距离不同。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一组三个或更多个电压计量引脚及所述第二组三个或更多个电压计量引脚包含所述多引脚探针中所包含的除了所述两个电流载运引脚之外的所有N个引脚。

4.根据权利要求3所述的系统，其中所述多引脚探针包含12个引脚。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述控制电路包括经配置以通过所述第一组三个或更多个电压计量引脚及所述第二组三个或更多个电压计量引脚同时测量电压信号的多个电压表。

6.根据权利要求5所述的系统，其中所述多个电压表包含并行操作的多个锁定放大器。

7.根据权利要求1所述的系统，其中所述控制电路进一步经配置以：

改变对所述两个电流载运引脚及所述三个或更多个电压计量引脚的选择以使用所述多引脚探针的第三种配置来执行第三电压信号测量。