[发明专利]静电电容型传感器、传感器片以及静电电容型传感器的制造方法有效

专利信息
申请号: 201680021544.3 申请日: 2016-02-24
公开(公告)号: CN107532961B 公开(公告)日: 2019-09-03
发明(设计)人: 川口绚也;藤川智宏;田口祐太朗;山田博 申请(专利权)人: 住友理工株式会社
主分类号: G01L5/00 分类号: G01L5/00;G01L1/14
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 提供一种配线的配置方式的自由度高且柔软、耐久性优异的静电电容型传感器。静电电容型传感器(1)具备介电层(2)和配置在介电层(2)的正反方向上的两侧的多个电极单元(3)、(4)。电极单元(3)具有:绝缘层(31),其具有在正反方向上贯通绝缘层(31)的贯通孔(310);电极层(01X~08X),其配置于绝缘层(31)的正反方向上的一面;以及跳线层(01x~08x),其配置于绝缘层(31)的正反方向上的另一面,经由贯通孔(310)而与电极层(01X~08X)导通,其中,绝缘层(31)的断裂伸长率为60%以上,拉伸永久变形小于5%,体积电阻率为1.0×1010Ω·cm以上。
搜索关键词: 静电 电容 传感器 以及 制造 方法
【主权项】:
1.一种静电电容型传感器(1),具备介电层(2)和配置在该介电层(2)的正反方向上的两侧的多个电极单元(3、4),该静电电容型传感器(1)的特征在于,该电极单元(3、4)具有:绝缘层(31、41),其具有贯通孔(310、410),该贯通孔(310、410)在所述绝缘层(31、41)的正反方向上贯通所述绝缘层(31、41);电极层(01X~08X、01Y~08Y),其配置在该绝缘层(31、41)的正反方向上的一面;以及跳线层(01x~08x、01y~08y),其配置在该绝缘层(31、41)的正反方向上的另一面,该跳线层(01x~08x、01y~08y)经由该贯通孔(310、410)而与该电极层(01X~08X、01Y~08Y)导通,其中,该绝缘层(31、41)的断裂伸长率为60%以上,拉伸永久变形小于5%,体积电阻率为1.0×1010Ω·cm以上。
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