[发明专利]氧化物及其制造方法有效
| 申请号： | 201680008182.4 | 申请日： | 2016-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN107207252B | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 山崎舜平 | 申请（专利权）人： | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号： | C01B13/14 | 分类号： | C01B13/14;C01G15/00;C04B35/00;C23C14/08;C23C14/34;H01L21/336;H01L21/363;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L21/8242;H01L27/088;H01L27/092;H01L27/108 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 秦晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种具有新颖的结晶结构的氧化物。或者，提供一种结晶性高的氧化物。或者，提供一种杂质浓度低的氧化物。一种在单晶的情况下具有六角形的原子排列的氧化物，该氧化物具有铟、元素M(铝、镓、钇或锡)及锌的同系结构以及通过对氧化物的顶面的透射电子显微镜图像中的第一区域进行分析而观察到的晶格点群，其中，在通过对晶格点群进行沃罗诺伊分析而得到的具有多个沃罗诺伊区域的沃罗诺伊图中，在所有沃罗诺伊区域中六角形的沃罗诺伊区域所占的比率为78％以上且100％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化物，包括：包括铟、元素M及锌的同系结构，其中，所述元素M是铝、镓、钇和锡中的一个，所述氧化物在单晶的情况下具有六角形的原子排列，所述氧化物具有通过对所述氧化物的顶面的透射电子显微镜图像中的第一区域进行分析而观察到的晶格点群，并且，在通过对所述晶格点群进行沃罗诺伊分析而得到的沃罗诺伊图中，在所有沃罗诺伊区域中六角形的沃罗诺伊区域所占的比率为78％以上且100％以下。
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