[发明专利]用于空间上分离的原子层沉积腔室的改进的注射器

摘要

公开用于空间式原子层沉积的设备和方法。所述设备包括气体递送系统，所述气体递送系统包含第一气体和第二气体，所述第一气体流动通过与阀流体连通的多个腿部，并且所述第二气体流动通过多个腿部进入所述阀。

主权项

一种气体递送系统，包含：第一入口管线，所述第一入口管线与第一接合点流体连通；至少两个第一腿部，所述至少两个第一腿部连接至所述第一接合点且与所述第一接合点流体连通，所述至少两个第一腿部中的每一个与至少一个阀流体连通；第二入口管线，所述第二入口管线与每一个阀流体连通；以及出口腿部，所述出口腿部与每一个阀流体连通，并且终止在出口端中，其中每一个阀控制从所述第一腿部至所述出口腿部的流体的流，并且从所述第一接合点至所述出口端中的每一个出口端的距离基本上相同。