[发明专利]用于空间上分离的原子层沉积腔室的改进的注射器

权利要求书

1.一种气体递送系统，包含：

第一入口管线，所述第一入口管线与第一接合点流体连通；

至少两个第一腿部，所述至少两个第一腿部连接至所述第一接合点且与所述第一接合点流体连通，所述至少两个第一腿部中的每一个与至少一个阀流体连通；

第二入口管线，所述第二入口管线与每一个阀流体连通；以及

出口腿部，所述出口腿部与每一个阀流体连通，并且终止在出口端中，

其中每一个阀控制从所述第一腿部至所述出口腿部的流体的流，并且从所述第一接合点至所述出口端中的每一个出口端的距离基本上相同。

2.如权利要求1所述的气体递送系统，其中有四个第一腿部，所述四个第一腿部连接至所述第一接合点且与所述第一接合点流体连通，所述四个第一腿部中的每一个与至少一个阀流体连通。

3.如权利要求1所述的气体递送系统，其中所述第一腿部中的每一个独立地与第二接合点流体连通，所述第二接合点位于所述第一接合点下游，并且至少两个第二腿部从所述第二接合点中的每一个延伸，从而引导至所述阀。

4.如权利要求1所述的气体递送系统，进一步包含：

第三入口管线，所述第三入口管线与第三接合点流体连通；

至少两个第三腿部，所述至少两个第三腿部连接至所述第三接合点且与所述第三接合点流体连通，所述至少两个第三腿部中的每一个与至少一个第三阀流体连通；

第四入口管线，所述第四入口管线与每一个第三阀流体连通；以及

出口腿部，所述出口腿部与每一个第三阀流体连通，并且终止在出口端中，

其中每一个第三阀控制从所述第三腿部至所述出口腿部的流体的流，并且从所述第三接合点至所述出口端中的每一个出口端的距离基本上相同。

5.如权利要求4所述的气体递送系统，其中有四个第三腿部，所述四个第三腿部连接至所述第三接合点且与所述第三接合点流体连通，所述四个第三腿部中的每一个与至少一个第三阀流体连通。

6.如权利要求5所述的气体递送系统，其中所述第三腿部中的每一个独立地与第四接合点流体连通，所述第四接合点位于所述第三接合点下游，并且至少两个第四腿部从所述第四接合点中的每一个第四接合点延伸，从而引导至所述阀。

7.一种气体递送系统，包含：

第一入口管线，所述第一入口管线与第一接合点流体连通；

两个第一腿部，所述两个第一腿部连接至所述第一接合点且与所述第一接合点流体连通，所述至少两个第一腿部中的每一个与第二接合点流体连通；

两个第二腿部，所述两个第二腿部与所述第二接合点中的每一个第二接合点和阀流体连通；

第二入口管线，所述第二入口管线与所述阀中的每一个流体连通；以及

出口腿部，所述出口腿部与所述阀中的每一个流体连通且具有出口端，

其中每一个阀控制从所述第一腿部至所述出口腿部的流体的流，并且从所述第一接合点通过所述第二接合点至所述出口端中的每一个出口端的距离基本上相同。

8.如权利要求1至7中的任一项所述的气体递送系统，其中所述阀控制在所述第二入口管线中至所述出口腿部的流体的流。

9.如权利要求1至7中的任一项所述的气体递送系统，其中所述阀不控制在所述第二入口管线中至所述出口腿部的流体的流。

10.如权利要求1至7中的任一项所述的气体递送系统，其中所述出口端中的每一个包含配件。

11.如权利要求1至7中的任一项所述的气体递送系统，其中所述第二入口管线在所述阀上游具有至少一个截止阀。

12.如权利要求1至7中的任一项所述的气体递送系统，其中所述阀是气动阀。