[实用新型]DES线用水装置有效
| 申请号： | 201621492927.2 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN206302640U | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 范红;李华;李艳国;陈蓓 | 申请（专利权）人： | 广州兴森快捷电路科技有限公司;深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司;宜兴硅谷电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 周修文 |
| 地址： | 510663 广东省广州市广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种DES线用水装置，包括第一回用管道，以及沿走板方向依次布置的显影水洗机构和酸洗水洗机构，所述酸洗水洗机构通过所述第一回用管道与所述显影水洗机构连通，所述第一回用管道用于将所述酸洗水洗机构中的清洗液引回至显影水洗机构中。所述DES线用水装置，一方面，酸洗水洗机构中的清洗液能够回用到显影水洗机构中，用于对显影后的工件进行清洗，显影水洗机构无需补充新水，能够节省用水，节能环保；另一方面，对工件进行清洗后的酸洗水洗机构中的清洗液呈弱酸性，当引回至显影水洗机构中后能够更快中和掉显影水洗机构内残余的弱碱性溶液，提高清洗效果，避免工件上的干膜被进一步攻击造成开路风险。 | ||
| 搜索关键词： | des 线用水 装置 | ||
【主权项】：
一种DES线用水装置，其特征在于，包括第一回用管道，以及沿走板方向依次布置的显影水洗机构和酸洗水洗机构，所述酸洗水洗机构通过所述第一回用管道与所述显影水洗机构连通，所述第一回用管道用于将所述酸洗水洗机构中的清洗液引回至显影水洗机构中。
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