[实用新型]DES线用水装置

权利要求书

1.一种DES线用水装置，其特征在于，包括第一回用管道，以及沿走板方向依次布置的显影水洗机构和酸洗水洗机构，所述酸洗水洗机构通过所述第一回用管道与所述显影水洗机构连通，所述第一回用管道用于将所述酸洗水洗机构中的清洗液引回至显影水洗机构中。

2.根据权利要求1所述的DES线用水装置，其特征在于，还包括蚀刻水洗机构、退膜水洗机构及第二回用管道，所述显影水洗机构、蚀刻水洗机构、退膜水洗机构和酸洗水洗机构沿走板方向依次布置，所述退膜水洗机构通过所述第二回用管道与所述蚀刻水洗机构连通，所述第二回用管道用于将所述退膜水洗机构中的清洗液引回至蚀刻水洗机构中。

3.根据权利要求2所述的DES线用水装置，其特征在于，所述显影水洗机构包括至少两道显影水洗槽，所述显影水洗槽的侧壁上设有显影水洗溢流口，后一道的所述显影水洗槽上的显影水洗溢流口与前一道的所述显影水洗槽连通，沿着由前至后的方向，所述显影水洗槽上的显影水洗溢流口的高度逐渐升高；所述酸洗水洗机构包括至少两道酸洗水洗槽，所述第一回用管道的第一端与第一道所述酸洗水洗槽连通，所述第一回用管道的第二端与最后一道所述显影水洗槽连通。

4.根据权利要求3所述的DES线用水装置，其特征在于，后一道所述酸洗水洗槽上设有与前一道的所述酸洗水洗槽连通的酸洗水洗溢流口，沿着由前至后的方向，所述酸洗水洗槽上的酸洗水洗溢流口的高度逐渐升高，最后一道所述酸洗水洗槽上设有第一新水进口。

5.根据权利要求3所述的DES线用水装置，其特征在于，所述酸洗水洗槽中设有喷淋泵，所述第一回用管道的第一端与第一道所述酸洗水洗槽中的喷淋泵连接。

6.根据权利要求2所述的DES线用水装置，其特征在于，所述蚀刻水洗机构包括至少两道蚀刻水洗槽，所述蚀刻水洗槽上设有蚀刻水洗溢流口，后一道的所述蚀刻水洗槽上的蚀刻水洗溢流口与前一道的所述蚀刻水洗槽连通，沿着由前至后的方向，所述蚀刻水洗槽上的蚀刻水洗溢流口的高度逐渐升高；所述退膜水洗机构包括至少两道退膜水洗槽，所述第二回用管道的第一端与第一道所述退膜水洗槽连通，所述第二回用管道的第二端与最后一道所述蚀刻水洗槽连通。

7.根据权利要求6所述的DES线用水装置，其特征在于，后一道所述退膜水洗槽上设有与前一道的所述退膜水洗槽连通的退膜水洗溢流口，沿着由前至后的方向，所述退膜水洗槽上的退膜水洗溢流口的高度逐渐升高，最后一道所述退膜水洗槽上设有第二新水进口。

8.根据权利要求6所述的DES线用水装置，其特征在于，所述退膜水洗槽中设有喷淋泵，所述第二回用管道的第一端与第一道所述退膜水洗槽中的喷淋泵连接。

9.根据权利要求2-8任一项所述的DES线用水装置，其特征在于，还包括显影槽、蚀刻槽、退膜槽和酸洗槽，所述显影槽、显影水洗机构、蚀刻槽、蚀刻水洗机构、退膜槽、退膜水洗机构、酸洗槽以及酸洗水洗机构沿走板方向依次布置。

10.根据权利要求2-8任一项所述的DES线用水装置，其特征在于，所述显影槽、蚀刻槽、退膜槽和酸洗槽中均设有喷淋泵。