[实用新型]一种新型硅晶炉加热结构有效
申请号: | 201621474791.2 | 申请日: | 2016-12-30 |
公开(公告)号: | CN206308448U | 公开(公告)日: | 2017-07-07 |
发明(设计)人: | 郭艳峰;冯立学;朱松涛 | 申请(专利权)人: | 河北凌樱新能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 071400 河北省保*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种新型硅晶炉加热结构,其包括保温筒,在保温筒内设有生长炉底座,在生长炉底座中心处设有支撑柱,生长炉底座上设有多个加热电极,各个加热电极环绕支撑柱均匀分布,在生长炉底座上还设有第一测温器和第二测温器,位于生长炉底座上设有环形导轨,在环形导轨上配装有半圆形的隔热笼,在支撑柱的顶端设有高温计,采用多测温器同时工作,并且两个测温器相对称,可以时时校对两个测温器的温度,配合顶部的高温计还可以实现整体温度的把控,可以保证热场均匀,加热效果良好,可控性好。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 硅晶炉 加热 结构 | ||
【主权项】:
一种新型硅晶炉加热结构,其特征在于:包括保温筒(9),在保温筒内设有生长炉底座,在生长炉底座中心处设有支撑柱(5),生长炉底座上设有多个加热电极(2),各个加热电极环绕支撑柱均匀分布,在生长炉底座上还设有第一测温器(1)和第二测温器(7),位于生长炉底座上设有环形导轨(4),在环形导轨上配装有半圆形的隔热笼(3),在支撑柱的顶端设有高温计(6)。
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