[实用新型]一种全自动太阳能电池片抗光衰激光加工设备有效
申请号: | 201621300945.6 | 申请日: | 2016-11-30 |
公开(公告)号: | CN206225338U | 公开(公告)日: | 2017-06-06 |
发明(设计)人: | 李志刚;雷合鸿;黄海 | 申请(专利权)人: | 武汉帝尔激光科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司11212 | 代理人: | 杨立,李蕾 |
地址: | 430223 湖北省武汉*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种全自动太阳能电池片抗光衰激光加工设备,所述机械旋转臂总成、旋转温控吸附工作台、电池片传送模组分别安装在加工台面上,所述旋转温控吸附工作台和电池片传送模组分布在所述机械旋转臂总成两侧,且均可在所述加工台面上水平转动;旋转温控吸附工作台上端设有两组并列且对称分布的温控吸盘模组,机械旋转臂总成两端具有上料吸盘和冷却下料吸盘;机械旋转臂总成转动过程中,上料吸盘和冷却下料吸盘可分别转动至其中一组温控吸盘模组或电池片传送模组的上方;激光发生器模组位于另外一组温控吸盘模组的上方。优点结构简单,使用方便,在电池片加工过程中可实现预加热及加工后的快速冷却,加工效率较高。 | ||
搜索关键词: | 一种 全自动 太阳能电池 片抗光衰 激光 加工 设备 | ||
【主权项】:
一种全自动太阳能电池片抗光衰激光加工设备,其特征在于:包括加工台面(1)、机械旋转臂总成(2)、旋转温控吸附工作台(3)、电池片传送模组(4)和激光发生器模组(5);所述机械旋转臂总成(2)、旋转温控吸附工作台(3)、电池片传送模组(4)分别安装在加工台面(1)上,所述旋转温控吸附工作台(3)和电池片传送模组(4)分布在所述机械旋转臂总成(2)两侧,且均可在所述加工台面(1)上水平转动;所述旋转温控吸附工作台(3)上端设有两组并列且对称分布的温控吸盘模组(6),所述机械旋转臂总成(2)两端具有上料吸盘(23)和冷却下料吸盘(24);所述机械旋转臂总成(2)转动过程中,所述上料吸盘(23)和冷却下料吸盘(24)可分别转动至其中一组所述温控吸盘模组(6)或电池片传送模组(4)的上方;所述激光发生器模组(5)通过支架(11)安装在加工台面(1)上,并位于另外一组所述温控吸盘模组(6)的上方。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造