[实用新型]一种太阳能硅片厚度表面线痕电阻率自动检测系统

摘要

本实用新型公开了一种太阳能硅片厚度表面线痕电阻率自动检测系统，包括传送带组件、探测模块、信号处理模块和数据处理模块，探测模块包括三组激光位移传感器和一组涡流传感器，每组激光位移传感器包括第一激光位移传感器和第二激光位移传感器，第一激光位移传感器用于测量硅片上表面到其探头的第一距离，第二激光位移传感器用于测量硅片下表面到其探头的第二距离，第一激光位移传感器和第二激光位移传感器的探头上下正对设置且相距标准距离；三组激光位移传感器的探头沿一垂直于传送带的直线等距分布，三组激光位移传感器的信号输出端与信号处理模块连接，一组涡流传感器的信号输出端与信号处理模块连接，所述信号处理模块与数据处理模块连接。

主权项

一种太阳能硅片厚度表面线痕电阻率自动检测系统，其特征在于，包括传送带组件、探测模块、信号处理模块和数据处理模块，所述传送带组件包括传送带和传送带驱动器，所述传送带驱动器驱动传送带运行，所述探测模块包括三组激光位移传感器和一组涡流传感器，每组激光位移传感器包括第一激光位移传感器和第二激光位移传感器，所述第一激光位移传感器用于测量硅片上表面到其探头的第一距离，所述第二激光位移传感器用于测量硅片下表面到其探头的第二距离，所述第一激光位移传感器和第二激光位移传感器的探头上下正对设置且相距标准距离；所述三组激光位移传感器的探头沿一垂直于传送带的直线等距分布，所述三组激光位移传感器的信号输出端与信号处理模块连接，所述一组涡流传感器的信号输出端与信号处理模块连接，所述信号处理模块与数据处理模块连接。