[实用新型]一种太阳能硅片厚度表面线痕电阻率自动检测系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能硅片厚度表面线痕电阻率检测技术，尤其涉及一种太阳能硅片厚度表面线痕电阻率自动检测系统。

背景技术

在目前光伏发电领域晶硅太阳能电池片占据着主要的市场份额，晶硅太阳能电池片主要由太阳能等级的硅片组成。为保证晶硅太阳能电池片转换效率满足技术指标，太阳能硅片生产厂家在生产过程中需要对太阳能硅片的厚度、厚度偏差、表面线痕、体电阻率等各种参数都要测试以满足制造高性能太阳能电池片的要求及指标。当前有两类设备可以测试这些参数，一类是通过手动测试测试设备来测试，通过工人用手移动硅片，让硅片在测试探头下方移动，从而检测到太阳能硅片片不同位置的测试数据；另一类是大型全自动测试设备，太阳能硅片通过自动抓取及传送机构的带动，硅片传送到不同的测试模块位置，从而进行全自动的测试。大型全自动测试设备测试功能丰富，效率高但是设备的售价非常高，后续设备的维护成本也很高，手动测试设备虽然价格低但是测试效率低，由于硅片需要在测试平台上移动，如果测试平台平常保养不当，容易对太阳能硅片造成二次污染。因此市场上急需要有一种介于全自动测试设备和手动测试设备之间的高性价比的测试设备，以适应不同客户的需要。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种太阳能硅片厚度表面线痕电阻率自动检测系统，介于全自动测试设备和手动测试设备之间的高性价比的测试设备，以适应不同客户的需要。

为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案是：一种太阳能硅片厚度表面线痕电阻率自动检测系统，包括传送带组件、探测模块、信号处理模块和数据处理模块，所述传送带组件包括传送带和传送带驱动器，所述传送带驱动器驱动传送带运行，所述探测模块包括三组激光位移传感器和一组涡流传感器，每组激光位移传感器包括第一激光位移传感器和第二激光位移传感器，所述第一激光位移传感器用于测量硅片上表面到其探头的第一距离，所述第二激光位移传感器用于测量硅片下表面到其探头的第二距离，所述第一激光位移传感器和第二激光位移传感器的探头上下正对设置且相距标准距离；所述三组激光位移传感器的探头沿一垂直于传送带的直线等距分布，所述三组激光位移传感器的信号输出端与信号处理模块连接，所述一组涡流传感器的信号输出端与信号处理模块连接，所述信号处理模块与数据处理模块连接。

进一步地，包括第一位置传感器、第二位置传感器、第三位置传感器、第四位置传感器、第五位置传感器、第六位置传感器、通讯模块和PLC控制模块，第一位置传感器、第二位置传感器、第三位置传感器、第四位置传感器、第五位置传感器、第六位置传感器沿着传送带运动方向依次间隔设置且它们的信号输出端分别与PLC控制模块连接，所述三组激光位移传感器设置在第二位置传感器与第三个位置传感器之间，所述一组涡流传感器设置在第四位置传感器与第五位置传感器之间，所述通讯模块与PLC控制模块连接，所述数据处理模块与通讯模块建立通讯通道，所述PLC控制模块与传送带驱动器连接。

进一步地，所述信号处理模块包括第一信号处理单元、第二信号处理单元和模/数转换单元；所述三组激光位移传感器的信号输出端与第一信号处理单元的输入端连接，所述一组涡流传感器的信号输出端与第二信号处理单元的输入端连接，所述第一信号处理单元与第二信号处理单元的输出端与模/数转换单元的输入端连接，所述模/数转换单元的输出端与数据处理模块连接。

进一步地，所述数据处理模块采用上位机。

进一步地，包括显示器，所述显示器与上位机连接且用于显示计算结果。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：太阳能硅片传送通过PLC控制，测试数据的运算通过高性能PC，PC和PLC之间通过通信单元进行通信，一次操作可以同时得到硅片厚度、厚度偏差、硅片表面线痕差值和电阻率，与现有测试设备相比具有操作简单、测试效率高和高性价比等优势。

附图说明

图1所示为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行说明，以使更充分的理解本实用新型的创造点所在。