[实用新型]一种太阳能硅片厚度表面线痕电阻率自动检测系统

权利要求书

1.一种太阳能硅片厚度表面线痕电阻率自动检测系统，其特征在于，包括传送带组件、探测模块、信号处理模块和数据处理模块，所述传送带组件包括传送带和传送带驱动器，所述传送带驱动器驱动传送带运行，所述探测模块包括三组激光位移传感器和一组涡流传感器，每组激光位移传感器包括第一激光位移传感器和第二激光位移传感器，所述第一激光位移传感器用于测量硅片上表面到其探头的第一距离，所述第二激光位移传感器用于测量硅片下表面到其探头的第二距离，所述第一激光位移传感器和第二激光位移传感器的探头上下正对设置且相距标准距离；所述三组激光位移传感器的探头沿一垂直于传送带的直线等距分布，所述三组激光位移传感器的信号输出端与信号处理模块连接，所述一组涡流传感器的信号输出端与信号处理模块连接，所述信号处理模块与数据处理模块连接。

2.如权利要求1所述的太阳能硅片厚度表面线痕电阻率自动检测系统，其特征在于，包括第一位置传感器、第二位置传感器、第三位置传感器、第四位置传感器、第五位置传感器、第六位置传感器、通讯模块和PLC控制模块，第一位置传感器、第二位置传感器、第三位置传感器、第四位置传感器、第五位置传感器、第六位置传感器沿着传送带运动方向依次间隔设置且它们的信号输出端分别与PLC控制模块连接，所述三组激光位移传感器设置在第二位置传感器与第三个位置传感器之间，所述一组涡流传感器设置在第四位置传感器与第五位置传感器之间，所述通讯模块与PLC控制模块连接，所述数据处理模块与通讯模块建立通讯通道，所述PLC控制模块与传送带驱动器连接。

3.如权利要求1或者2所述的太阳能硅片厚度表面线痕电阻率自动检测系统，其特征在于，所述信号处理模块包括第一信号处理单元、第二信号处理单元和模/数转换单元；所述三组激光位移传感器的信号输出端与第一信号处理单元的输入端连接，所述一组涡流传感器的信号输出端与第二信号处理单元的输入端连接，所述第一信号处理单元与第二信号处理单元的输出端与模/数转换单元的输入端连接，所述模/数转换单元的输出端与数据处理模块连接。

4.如权利要求3所述的太阳能硅片厚度表面线痕电阻率自动检测系统，其特征在于，所述数据处理模块采用上位机。

5.如权利要求4所述的太阳能硅片厚度表面线痕电阻率自动检测系统，其特征在于，包括显示器，所述显示器与上位机连接且用于显示计算结果。