[实用新型]一种实现光刻机自动对准工件台旋转方向精确定位的机构有效
| 申请号： | 201621194600.7 | 申请日： | 2016-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN206331229U | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 杜婧;龚健文;赵立新 | 申请（专利权）人： | 四川科奥达技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司51230 | 代理人： | 李春芳,刘贤科 |
| 地址： | 610207 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种实现光刻机自动对准工件台旋转方向精确定位的机构，涉及微电子专用设备领域，包括基板和与基板连接并能在基板上旋转的旋转机构，所述旋转机构设有旋转向顶块，所述基板上还设置有旋转驱动机构，所述旋转驱动机构包括能够在基板上做直线运动并驱动旋转向顶块转动的顶杆；所述旋转驱动机构还包括用于复位旋转向顶块和防止旋转向顶块做惯性运动的弹性端，所述弹性端包括连接设置的跟踪滑杆和弹性装置；所述基板上还设置有用于采集顶杆直线运动距离的光栅传感器组件；本实用新型解决了目前我国市面上的光刻机自动对准工件台旋转方向定位的精确度和成本无法兼顾的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 光刻 自动 对准 工件 旋转 方向 精确 定位 机构 | ||
【主权项】：
一种实现光刻机自动对准工件台旋转方向精确定位的机构，包括基板(100)和与基板(100)连接并能在基板(100)上旋转的旋转机构(200)，其特征在于，所述旋转机构(200)设有旋转向顶块(207)，所述基板(100)上还设置有旋转驱动机构(300)，所述旋转驱动机构(300)包括在基板(100)上做直线运动并驱动旋转向顶块(207)转动的顶杆(308)；所述旋转驱动机构(300)还包括用于复位旋转向顶块(207)和防止旋转向顶块(207)做惯性运动的弹性端，所述弹性端包括连接设置的跟踪滑杆(312)和弹性装置；所述基板(100)上还设置有用于采集顶杆(308)直线运动距离的光栅传感器组件(400)。
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