[实用新型]一种实现光刻机自动对准工件台旋转方向精确定位的机构

权利要求书

1.一种实现光刻机自动对准工件台旋转方向精确定位的机构，包括基板(100)和与基板(100)连接并能在基板(100)上旋转的旋转机构(200)，其特征在于，所述旋转机构(200)设有旋转向顶块(207)，所述基板(100)上还设置有旋转驱动机构(300)，所述旋转驱动机构(300)包括在基板(100)上做直线运动并驱动旋转向顶块(207)转动的顶杆(308)；

所述旋转驱动机构(300)还包括用于复位旋转向顶块(207)和防止旋转向顶块(207)做惯性运动的弹性端，所述弹性端包括连接设置的跟踪滑杆(312)和弹性装置；

所述基板(100)上还设置有用于采集顶杆(308)直线运动距离的光栅传感器组件(400)。

2.根据权利要求1所述的一种实现光刻机自动对准工件台旋转方向精确定位的机构，其特征在于，所述旋转驱动机构(300)还包括电机(301)、联轴节(303)、滚珠丝杠(305)、位于基板(100)上的滑动导轨(306)和螺母连接块(307)；滑动导轨(306)上设有滑块，螺母连接块(307)的下端面与滑块连接；所述顶杆(308)另一端安装在螺母连接块(307)上，螺母连接块(307)与滚珠丝杠(305)的螺母同轴连接固定；所述电机(301)通过联轴节(303)与滚珠丝杠(305)连接。

3.根据权利要求2所述的一种实现光刻机自动对准工件台旋转方向精确定位的机构，其特征在于，所述滚珠丝杠(305)靠近联轴节(303)的一端由轴承支承单元(304)固定，轴承支承单元(304)安装在基板(100)上。

4.根据权利要求2或3所述的一种实现光刻机自动对准工件台旋转方向精确定位的机构，其特征在于，所述旋转驱动机构(300)还包括限位机构，限位机构包括光电开关(314)、光电开关座(315)和挡片(313)，光电开关位于光电开关座(315)下方，所述光电开关座(315)与基板(100)固定连接，挡片(313)与螺母连接块(307)。

5.根据权利要求4所述的一种实现光刻机自动对准工件台旋转方向精确定位的机构，其特征在，所述跟踪滑杆(312)和弹性装置设置于跟踪滑杆座(309)内，且跟踪滑杆(312)可在跟踪滑杆座(309)中滑动。

6.根据权利要求2所述的一种实现光刻机自动对准工件台旋转方向精确定位的机构，其特征在于，所述电机(301)下方设有电机弯板(302)，电机弯板(302)安装在基板(100)上。

7.根据权利要求2或6所述的一种实现光刻机自动对准工件台旋转方向精确定位的机构，其特征在于，所述电机(301)为步进电机。

8.根据权利要求1所述的一种实现光刻机自动对准工件台旋转方向精确定位的机构，其特征在于，所述直线光栅传感器组件(400)包括光栅尺(402)、用于采集光栅尺信号的读数头(401)、与光栅尺(402)连接的光栅尺架(403)、与读数头(401)连接的读数头弯板(404)，所述光栅尺架(403)还与螺母连接块(307)连接。

9.根据权利要求1所述的一种实现光刻机自动对准工件台旋转方向精确定位的机构，其特征在于所述旋转机构(200)还包括转轴、与所述转轴套设的转轴套(201)、外层旋转保持架(202)、钢球(203)、下端面保持架(204)、端面轴承板(205)；

所述转轴套(201)安装在外层旋转保持架(202)上，所述外层旋转保持架(202)内安装钢球(203)，钢球(203)上表面与转轴套(201)接触，下表面与基板(100)上端面接触；所述下端面保持架(204)内也安装有钢球(203)，钢球(203)上表面与基板(100)下端面接触，下表面与端面轴承板(205)上端面接触；所述旋转向顶块(207)固定连接在转轴套(201)侧面。