[实用新型]传输装置和蒸镀设备有效
| 申请号： | 201621188648.7 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN206098367U | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 姚固;邹清华;王玉 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 姜春咸,陈源 |
| 地址： | 230012 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种传输装置，包括传输台和分离机构，所述传输台上设置有粘性层，所述粘性层包括用于粘附基板的粘性表面；所述分离机构用于将粘附在所述粘性层上的基板与所述粘性层分离；所述传输装置还包括设置在所述分离机构上的至少一个作用力检测器件，所述作用力检测器件用于检测所述基板与所述粘性层分离时所述基板与所述分离机构之间的作用力。相应地，本实用新型还提供一种蒸镀设备。本实用新型能够便于操作人员确定何时更换粘性层。 | ||
| 搜索关键词： | 传输 装置 设备 | ||
【主权项】：
一种传输装置，包括传输台和分离机构，所述传输台上设置有粘性层，所述粘性层包括用于粘附基板的粘性表面；所述分离机构用于将粘附在所述粘性层上的基板与所述粘性层分离；其特征在于，所述传输装置还包括设置在所述分离机构上的至少一个作用力检测器件，所述作用力检测器件用于检测所述基板与所述粘性层分离时所述基板与所述分离机构之间的作用力。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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