[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201621164788.0 | 申请日： | 2016-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN206341427U | 公开（公告）日： | 2017-07-18 |
| 发明（设计）人： | 张金宇;张睿;孟珍奎 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（新加坡）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 长沙市阿凡提知识产权代理有限公司43216 | 代理人： | 胡国良 |
| 地址： | 新加坡宏茂桥*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底和固定于所述基底的电容系统，所述电容系统包括位于所述基底上方的背极板和叠设于所背极板上方的振膜，所述背极板和所述振膜相对设置且形成绝缘间隙，所述背极板包括主体部和由所述主体部的周缘延伸的多个间隔设置的固定部，所述振膜包括振动部和由所述振动部的周缘延伸的连接部，所述背极板的主体部向所述振膜方向的正投影完全位于所述振膜范围内，所述固定部向所述振膜方向的正投影的至少一部分位于所述振膜范围内。与相关技术相比，本实用新型的MEMS麦克风灵敏度高且声学性能优。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底和固定于所述基底的电容系统，所述电容系统包括位于所述基底上方的背极板和叠设于所背极板上方的振膜，所述背极板和所述振膜相对设置且形成绝缘间隙，其特征在于：所述背极板包括主体部和由所述主体部的周缘延伸的多个间隔设置的固定部，所述振膜包括振动部和由所述振动部的周缘延伸的连接部，所述背极板的主体部向所述振膜方向的正投影完全位于所述振膜范围内，所述固定部向所述振膜方向的正投影的至少一部分位于所述振膜范围内。
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