[实用新型]一种碳化硅密闭炉尾气回收的装置

摘要

本实用新型涉及碳化硅冶炼技术领域，尤其是一种碳化硅密闭炉尾气回收的装置，包括基座，所述基座上设置有碳化硅密闭炉、冷却箱和尾气存储罐，所述碳化硅密闭炉的顶部开设有尾气排放口且尾气排放口与尾气导管的一端连接，所述冷却箱内通过若干固定装置固定安装有冷却管，所述尾气存储罐靠近排气口的下侧开设有通孔，且通孔内安装有压力传感器，所述压力传感器与单片机电连接，所述尾气存储罐的顶部设置有支架，所述支架上安装有气体压缩机，所述气体压缩机通过连接管与尾气存储罐连接，所述气体压缩机通过管道与抽气机的出气口连接。本实用新型结构简单，回收效率高，节约生产成本。

主权项

一种碳化硅密闭炉尾气回收的装置，包括基座(1)，其特征在于：所述基座(1)上设置有碳化硅密闭炉(2)、冷却箱(5)和尾气存储罐(15)，所述碳化硅密闭炉(2)的顶部开设有尾气排放口(3)且尾气排放口(3)与尾气导管(4)的一端连接，所述冷却箱(5)内通过若干固定装置(6)固定安装有冷却管(8)，且尾气导管(4)远离尾气排放口(3)的一端通过连接件(7)与冷却管(8)的一端连接，所述冷却管(8)远离连接件(7)的一端与抽气机(9)的进气口连接；所述尾气存储罐(15)的侧壁上分别设置有排气口(13)、单片机(16)和报警器(17)，且单片机(16)电性连接报警器(17)，所述尾气存储罐(15)靠近排气口(13)的下侧开设有通孔，且通孔内安装有压力传感器(14)，所述压力传感器(14)与单片机(16)电连接，所述尾气存储罐(15)的顶部设置有支架(11)，所述支架(11)上安装有气体压缩机(10)，所述气体压缩机(10)通过连接管(12)与尾气存储罐(15)连接，所述气体压缩机(10)通过管道与抽气机(9)的出气口连接。