[实用新型]一种MEMS器件、MEMS微镜系统和MEMS微小投影仪

摘要

一种MEMS器件(40)，具有经由被配置为支持平台关于第一轴线(A)的旋转的弹性连接元件(46)由框架(48)承载的平台(45)。承载结构(41)通过被配置为支持框架(48)关于横向于第一轴线(A)的第二轴线(B)的旋转的第一和第二弹性悬挂臂来支撑框架(48)。弹性悬挂臂通过被布置成关于第二轴线(B)偏移的相应锚固部分(50)而被锚固到承载结构(41)。应力传感器由第一和第二传感器元件形成，其相应地被布置在关于第一轴线(A)对称位置中的第二轴线(B)的相同侧上的锚固部分附近的第一和第二悬挂臂上。还提供一种MEMS微镜系统和一种MEMS微小投影仪。

主权项

一种MEMS器件(40；140)，其特征在于，包括：平台(45)；框架(48)，其通过弹性连接元件(46)来支撑所述平台，所述弹性连接元件(46)被配置成允许所述平台关于第一轴线(A)的旋转；承载结构(41)，其通过弹性悬挂元件来支撑所述框架(48)，所述弹性悬挂元件被配置成允许所述框架(48)关于横向于所述第一轴线(A)的第二轴线(B)的旋转；以及应力传感器，其被布置在所述弹性悬挂元件上，所述弹性悬挂元件通过关于所述第二轴线(B)被偏移布置的相应锚固部分(50)而被锚固到所述承载结构(41)。