[实用新型]一种MEMS器件、MEMS微镜系统和MEMS微小投影仪

权利要求书

1.一种MEMS器件(40；140)，其特征在于，包括：

平台(45)；

框架(48)，其通过弹性连接元件(46)来支撑所述平台，所述弹性连接元件(46)被配置成允许所述平台关于第一轴线(A)的旋转；

承载结构(41)，其通过弹性悬挂元件来支撑所述框架(48)，所述弹性悬挂元件被配置成允许所述框架(48)关于横向于所述第一轴线(A)的第二轴线(B)的旋转；以及

应力传感器，其被布置在所述弹性悬挂元件上，

所述弹性悬挂元件通过关于所述第二轴线(B)被偏移布置的相应锚固部分(50)而被锚固到所述承载结构(41)。

2.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，所述应力传感器靠近所述锚固部分(50)布置。

3.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，所述弹性悬挂元件被配置成允许所述框架(48)也关于所述第一轴线(A)旋转，并且使得所述框架(48)关于所述第一轴线和所述第二轴线的所述旋转在所述弹性悬挂元件上仅产生扭转应力。

4.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，所述弹性悬挂元件包括第一悬挂臂和第二悬挂臂，并且所述应力传感器包括分别被布置在所述第一悬挂臂和所述第二悬挂臂上的第一传感器元件和第二传感器元件。

5.根据权利要求4所述的器件，其特征在于，所述第一传感器元件和所述第二传感器元件关于所述第一轴线(A)对称地被布置在所述第二轴线(B)的相同侧。

6.根据权利要求4所述的器件，其特征在于，所述传感器元件靠近所述锚固部分(50)布置。

7.根据权利要求4所述的器件，其特征在于，每个传感器元件 包括压阻或压电类型的第一电阻器和第二电阻器(53-56)，每个传感器元件的所述第一电阻器和所述第二电阻器被布置成横向于所述第二轴线(B)并且关于对称轴彼此对称，所述对称轴平行于所述第一轴线(A)，每个传感器元件的所述第一电阻器和所述第二电阻器(53-56)定义第一偏置节点和第二偏置节点(SB1+、SB1-、SB2+、SB2-)以及中间输出节点(SO1、SO2；SO1-、SO2+)。

8.根据权利要求7所述的器件，其特征在于，每个传感器元件的所述第一电阻器和所述第二电阻器(53-56)被布置在相对于所述第二轴线(B)的±45°处。

9.根据权利要求7所述的器件，其特征在于，每个传感器元件的所述第一电阻器和所述第二电阻器(53-56)定义半桥配置。

10.根据权利要求7所述的器件，其特征在于，每个传感器元件包括压阻或压电类型的第三电阻器和第四电阻器(70-73)，其中每个传感器元件的所述第一电阻器、所述第二电阻器、所述第三电阻器和所述第四电阻器(53-56、70-73)定义桥配置。

11.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，所述悬挂臂具有蛇形或L形的形状。

12.根据权利要求10所述的器件，其特征在于，所述悬挂臂具有第一端(49A)和第二端(49B)，所述悬挂臂的所述第一端(49A)被布置在所述第二轴线(B)的第一侧，并且所述悬挂臂的所述第二端(49B)被布置在所述第二轴线(B)的第二侧。

13.根据权利要求1-12中的任一项所述的器件，其特征在于，形成MEMS微镜。

14.一种MEMS微镜系统(60)，其特征在于，包括：

根据权利要求6或引用权利要求5的权利要求7-13中的任一项所述的MEMS器件(40；140；240)；

处理单元(61)，被连接到所述传感器元件的中间节点(SO1、SO2；SO1-、SO2+)并且被配置成在所述中间节点(SO1、SO2；SO1-、SO2+)处对信号(SO1、SO2)进行相和减并且生成经测量 的角位置信号(θ、α)；以及

位置校正单元(62)，被配置成将所述经测量的角位置信号(θ，α)与期望的位置信号(θ1,α1)相比较，并且生成用于所述MEMS器件(40；140)的驱动信号(D)。

15.一种MEMS微小投影仪(63)，其特征在于，包括光发生器(64)和根据权利要求14所述的MEMS微镜系统(60)。