[实用新型]等离子清洗机有效

专利信息
申请号: 201621073923.0 申请日: 2016-09-23
公开(公告)号: CN206179826U 公开(公告)日: 2017-05-17
发明(设计)人: 龙超祥 申请(专利权)人: 深圳市复德科技有限公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L21/67
代理公司: 深圳市惠邦知识产权代理事务所44271 代理人: 孙大勇
地址: 518000 广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种等离子清洗机,包括:料盒放置座,用于放置装有引线框架的料盒;第一推片机构,设于料盒放置座的第一端,用于将料盒内的引线框架推出;载物台移送组件,至少包括可沿x轴方向和z轴方向移动的第一载物台,用于接收从料盒放置座离开的引线框架;传送带输送组件,设于料盒放置座与第一载物台之间,用于将引线框架从料盒放置座传送至载物台移送组件;下端开口的反应仓,第一载物台移动至反应仓开口端下方时沿z轴方向向上移动与反应仓密封形成密封腔体,用于使第一载物台承载的引线框架在密封腔体内完成清洗过程。实施本实用新型,能够得到一种自动化程度高、能清洗单件引线框架的等离子清洗机。
搜索关键词: 等离子 清洗
【主权项】:
一种等离子清洗机,其特征在于,包括:料盒放置座(110),用于放置装有引线框架的料盒(112);第一推片机构(210),设于所述料盒放置座(110)的第一端,用于将所述料盒(112)内的引线框架推出;载物台移送组件(310),至少包括可沿x轴方向和z轴方向移动的第一载物台(320),用于接收从所述料盒放置座(110)离开的引线框架;传送带输送组件(410),设于所述料盒放置座(110)与所述第一载物台(320)之间,用于将所述引线框架从所述料盒放置座(110)传送至所述载物台移送组件(310);下端开口的反应仓(510),所述第一载物台(320)移动至所述反应仓(510)开口端下方时沿z轴方向向上移动与所述反应仓(510)密封形成密封腔体,用于使所述第一载物台(320)承载的引线框架在所述密封腔体内完成清洗过程。
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