[实用新型]一种敏感膜及MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201621023686.7 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN206164826U | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 詹竣凯;蔡孟锦 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R7/14 | 分类号： | H04R7/14;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 王昭智,马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种敏感膜及MEMS麦克风，包括位于中部的感测部、位于边缘的连接部，以及位于感测部与连接部之间的动作部；所述感测部、动作部、连接部是一体成型的；其中，所述动作部呈波纹状或者矩形齿状；在所述连接部的位置还设置有第一补强部。本实用新型的敏感膜，整合了传统弹簧式膜片以及全膜式结构膜的优点，通过设置在中部区域可提供中央区域类全平面感测的形式，在相同的位移区间内相较于传统曲面形变，可提供更大的电容变化量，从而提高整体灵敏度；通过呈波纹状或者矩形齿状的动作部可为感测部提供更大的位移量，从而可以提高感测部的灵敏度；通过设置在连接部位置的第一补强部可以大大提高敏感膜的连接强度，从而可以提高敏感膜的抗冲击能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 敏感 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种敏感膜，其特征在于：包括位于中部的感测部(2c)、位于边缘的连接部(2a)，以及位于感测部(2c)与连接部(2a)之间的动作部(2b)；所述感测部(2c)、动作部(2b)、连接部(2a)是一体成型的；其中，所述动作部(2b)呈波纹状或者矩形齿状；在所述连接部(2a)的位置还设置有第一补强部(6)。
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