[实用新型]用于电泳制程的提篮有效
| 申请号： | 201620969307.7 | 申请日： | 2016-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN205920954U | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 刘洋;葛宜威;王毅 | 申请（专利权）人： | 扬州杰盈汽车芯片有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;C25D13/12 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司32224 | 代理人： | 陶得天 |
| 地址： | 225008 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 用于电泳制程的提篮。涉及晶圆加工领域，尤其涉及用于电泳制程的提篮。提供了一种结构简单，便于空气流通，方便干燥的用于电泳制程的提篮。所述立板一和立板二之间的底部设有一对对称设置的不锈钢撑杆一，所述撑杆一的内侧面设有若干锯齿槽一，所述锯齿槽一呈三角形，一对撑杆一上对应的锯齿槽一用与放置晶圆，使得相邻晶圆之间的间距为0.5‑1.5cm；所述撑杆一和水平面之间的夹角为30‑60°。还包括不锈钢撑杆二，所述撑杆二位于立板一和立板二之间的上部，所述撑杆二的内侧设有锯齿槽二，所述锯齿槽一与锯齿二一一对应。本实用新型方便加工，节省了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电泳 提篮 | ||
【主权项】：
用于电泳制程的提篮，其特征在于，包括一对平行设置的不锈钢立板一和不锈钢立板二，所述立板一和立板二之间的底部设有一对对称设置的不锈钢撑杆一，所述撑杆一的内侧面设有若干锯齿槽一，所述锯齿槽一呈三角形，一对撑杆一上对应的锯齿槽一用与放置晶圆，使得相邻晶圆之间的间距为0.5‑1.5cm；所述撑杆一和水平面之间的夹角为30‑60°。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
