[实用新型]适用有机发光二极管蒸镀制程的光罩结构

摘要

一种适用有机发光二极管蒸镀制程的光罩结构，包含有一光罩本体以及四对位记号组，所述四对位记号组分别对应四个影像捕获设备且分别包含一主要记号以及一辅助记号，各辅助记号与各主要记号分别设置在所述光罩本体上，各辅助对位记号邻近对应的所述主要记号且与对应的所述主要对位记号间定义一参考线，各参考线的长度的公差小于一长度精度值，所述参考线与由两所述主要记号所定义的一侧边间所夹的角度的公差小于一角度精度值。

主权项

一种适用有机发光二极管蒸镀制程的光罩结构，其特征在于，包含有：一光罩本体；一第一对位记号组，对应一影像撷取模块的一第一影像捕获设备且包含：一第一主要记号，设置在所述光罩本体上；以及一第一辅助记号，设置在所述光罩本体上并邻近所述第一主要记号；一第二对位记号组，包含一第二主要记号，所述第二主要记号设置在所述光罩本体上；一第三对位记号组，包含一第三主要记号，所述第三主要记号设置在所述光罩本体上；以及一第四对位记号组，包含一第四主要记号，所述第四主要记号设置在所述光罩本体上；其中，所述第一主要对位记号与所述第二主要对位记号间定义一第一侧边，所述第二主要对位记号与所述第三主要对位记号间定义一第二侧边，所述第三主要对位记号与所述第四主要对位记号间定义一第三侧边，所述第四主要对位记号与所述第一主要对位记号间定义一第四侧边，所述第一辅助对位记号与所述第一主要对位记号间定义一第一参考线，所述第一参考线与所述第四侧边间形成一第一角度，所述第一参考线的长度的公差小于一长度精度值，所述第一角度的公差小于一角度精度值。