[实用新型]一种适用于不同尺寸规格晶圆的定位装置

摘要

本实用新型公开一种适用于不同尺寸规格晶圆的定位装置，属于PSS制程领域，包括基板，基板上设有若干螺孔、螺钉、安装孔和升降杆；螺孔以基板中心为圆心呈圆周布置，螺钉安装在螺孔内，安装孔以基板中心为圆心呈圆周布置，由螺孔、螺钉围成的外圆周的半径大于由安装孔围成的内圆周半径；升降杆竖直安装在安装孔内，升降杆的下端分别设有鼓气囊、充放气装置、及气动调节装置；升降杆的顶端截面呈梯形，底端为平面，气动调节装置控制充放气装置向鼓气囊内充气，使鼓气囊膨胀顶起升降杆，实现升降杆在基板表面凸起。本实用新型装置可实现不同尺寸规格的PSS定位装置之间自动切换，具有切换迅速，耗时短，节省人力，便于生产管控的优点。

主权项

一种适用于不同尺寸规格晶圆的定位装置，其特征在于，包括基板(1)，基板(1)上设有若干螺孔(2)、螺钉(3)和安装孔(4)，及若干安装在安装孔(4)内的升降杆(5)；所述螺孔(2)以基板中心为圆心呈圆周布置，螺钉(3)安装在螺孔(2)内，所述安装孔(4)以基板中心为圆心呈圆周布置，由螺孔(2)、螺钉(3)围成的外圆周的半径大于由安装孔(4)围成的内圆周半径；所述升降杆(5)竖直安装在安装孔(4)内，升降杆(5)的下端分别设有鼓气囊(6)、与鼓气囊(6)连接的充放气装置(7)、及与充放气装置(7)连接的气动调节装置(8)；所述升降杆(5)的顶端截面呈梯形，底端为平面，所述气动调节装置(8)控制充放气装置(7)向鼓气囊(6)内充气，使鼓气囊(6)膨胀顶起升降杆(5)，实现升降杆(5)在基板(1)表面凸起。