[实用新型]一种半导体检测设备

摘要

本实用新型公开了一种半导体检测设备,包括支撑架和横轴，所述横轴设置在支撑架的下面，所述横轴上设有万向轮，所述支撑架中心处设有SQUID检测系统，所述SQUID检测系统包括检测外壳、SQUID探头和聚焦透镜，所述SQUID探头设置在检测外壳下面，所述聚焦透镜设置在SQUID探头下面，所述检测外壳内侧顶端设有传感器，所述检测外壳一侧设有光电管，所述检测外壳另一侧设有机械手，所述支撑架左侧固定有SQUID控制器，所述SQUID检测系统下面设有防震检测台，所述防震检测台下面设有旋转台，所述旋转台与支撑架转动连接。该实用新型，实现了无损检测，检测的精度较高，具有良好的分辨率，在半导体结构分析和光电器件性能检测等方面，具有很好的应用前景。

主权项

一种半导体检测设备,包括支撑架（1）和横轴（2），其特征在于：所述横轴（2）设置在支撑架（1）的下面，所述横轴（2）上设有万向轮（3），所述支撑架（1）中心处设有SQUID检测系统（4），所述SQUID检测系统（4）包括检测外壳（41）、SQUID探头（42）和聚焦透镜（43），所述SQUID探头（42）设置在检测外壳（41）下面，所述聚焦透镜（43）设置在SQUID探头（42）下面，所述检测外壳（41）内侧顶端设有传感器（10），所述传感器（10）分别与SQUID探头（42）和SQUID控制器（6）电性连接，所述检测外壳（41）一侧设有光电管（5），所述检测外壳（41）另一侧设有机械手（9），所述支撑架（1）左侧固定有SQUID控制器（6），所述SQUID检测系统（4）下面设有防震检测台（7），所述防震检测台（7）下面设有旋转台（8），所述旋转台（8）与支撑架（1）转动连接。