[实用新型]采用复合电子阻挡层的深紫外LED外延结构有效
申请号: | 201620828858.1 | 申请日: | 2016-08-03 |
公开(公告)号: | CN206148464U | 公开(公告)日: | 2017-05-03 |
发明(设计)人: | 吴真龙;田宇;郑建钦;李鹏飞 | 申请(专利权)人: | 南通同方半导体有限公司;同方股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14;H01L33/06 |
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地址: | 226015 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 采用复合电子阻挡层的深紫外LED外延结构,属于半导体光电子领域。本实用新型结构包括衬底层、成核层、AlN层、N型AlGaN层、AlxGa1‑xN/AlyGa1‑yN多量子阱有源层、复合电子阻挡层、P型AlGaN层和P型GaN层。其结构特点是,所述复合电子阻挡层分为两层,其与多量子阱有源层接触一侧为AlN阻挡层,其与P型AlGaN层接触一侧为高Al组分AlzGa1‑zN阻挡层,y<z<1。同现有技术相比,本实用新型能有效增加电子阻挡层的电子阻挡能力,又不损害空穴注入到有源区的效率,最终可以极大提高深紫外LED的发光效率。 | ||
搜索关键词: | 采用 复合 电子 阻挡 深紫 led 外延 结构 | ||
【主权项】:
采用复合电子阻挡层的深紫外LED外延结构,它包括衬底层(1)、成核层(2)、AlN层(3)、N型AlGaN层(4)、AlxGa1‑xN/AlyGa1‑yN多量子阱有源层(5)、复合电子阻挡层(6)、P型AlGaN层(7)和P型GaN层(8),其特征在于,所述复合电子阻挡层(6)分为两层,其与多量子阱有源层(5)接触一侧为AlN阻挡层(601),其与P型AlGaN层(7)接触一侧为高Al组分AlzGa1‑zN阻挡层(602),y<z<1。
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