[实用新型]一种多晶硅坩埚护板有效
申请号: | 201620800523.9 | 申请日: | 2016-07-28 |
公开(公告)号: | CN206070042U | 公开(公告)日: | 2017-04-05 |
发明(设计)人: | 赵春峰;李胜忠;金晓荣;徐君锋;乔新国 | 申请(专利权)人: | 浙江精功新能源有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 绍兴市越兴专利事务所(普通合伙)33220 | 代理人: | 蒋卫东 |
地址: | 312000 浙江省绍*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅坩埚护板,包括护板,还包括由底补边和侧补边组成的L形补边,L形补边由碳纤维一体成型,且可拆卸式地安装于护板上,其中底补边与护板的底边紧密贴合,侧补边与护板的其中一侧边紧密贴合,安装上L形补边后护板由适用于G5热场结构的坩埚转换成适用于G6热场结构的坩埚;所述护板的外侧面上靠近下端位置铺设有石墨软毡。本实用新型多晶硅坩埚护板可提高互换性和利用率,同时又可确保多晶硅质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 坩埚 | ||
【主权项】:
一种多晶硅坩埚护板,包括护板,其特征在于:还包括由底补边和侧补边组成的L形补边,L形补边由碳纤维一体成型,且可拆卸式地安装于护板上,其中底补边与护板的底边紧密贴合,侧补边与护板的其中一侧边紧密贴合,安装上L形补边后护板由适用于G5热场结构的坩埚转换成适用于G6热场结构的坩埚;所述护板的外侧面上靠近下端位置铺设有石墨软毡。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江精功新能源有限公司,未经浙江精功新能源有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201620800523.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种坩埚护板
- 下一篇:多坩埚下降法制备氟化镁晶体的生长设备