[实用新型]一种真空镀膜的修正挡板结构有效
| 申请号： | 201620784026.4 | 申请日： | 2016-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN205803581U | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 邹杨;孙蕾;杨宜珍;邹松东;孙凌 | 申请（专利权）人： | 洛阳奥尔材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 洛阳市凯旋专利事务所41112 | 代理人： | 陆君 |
| 地址： | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种真空镀膜的修正挡板结构，涉及一种修正挡板结构，包括真空镀膜室（4）、旋转基片台（5）和蒸发源（6），在真空镀膜室（4）内设有蒸发源（6），在蒸发源（6）的上部设有旋转基片台（5），在真空镀膜室（4）的外部设有旋转组件（3），在旋转组件（3）的中心处设有穿过真空镀膜室（4）的转轴（2），在转轴（2）上设有修正挡板（1）；本实用新型通过设置旋转组件驱动转轴上的修正挡板旋转，实现了真空镀膜更均匀的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 修正 挡板 结构 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜的修正挡板结构，包括真空镀膜室（4）、旋转基片台（5）和蒸发源（6），其特征是：在真空镀膜室（4）内设有蒸发源（6），在蒸发源（6）的上部设有旋转基片台（5），在真空镀膜室（4）的外部设有旋转组件（3），在旋转组件（3）的中心处设有穿过真空镀膜室（4）的转轴（2），在转轴（2）上设有修正挡板（1）。
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