[实用新型]一种圆形硅片清洗篮有效
| 申请号： | 201620773113.X | 申请日： | 2016-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN205828359U | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 吕海强;郑安;黄杨康 | 申请（专利权）人： | 浙江金乐太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 慈溪慈恒专利代理事务所(特殊普通合伙)33249 | 代理人： | 戚秋鹏 |
| 地址： | 315200 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种圆形硅片清洗篮，包括清洗篮本体；所述清洗篮本体包括支撑立柱和位于所述支撑立柱两侧的挡板；所述挡板的形状为正方形；所述支撑立柱上设置有弧形缓冲部；所述弧形缓冲部上均匀分布有用于放置硅片的弧形卡合槽，所述硅片定位安装在所述弧形卡合槽内，彼此之间相互隔开，不会发生触碰损坏；所述挡板上设有通孔；所述通孔的中心轴线与所述弧形缓冲部和弧形卡合槽的中心轴线在同一直线上；本实用新型圆形硅片清洗篮结构简单，专门针对圆形硅片设计使用的，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆形 硅片 清洗 | ||
【主权项】：
一种圆形硅片清洗篮，其特征在于：包括清洗篮本体(1)；所述清洗篮本体(1)包括支撑立柱(2)和位于所述支撑立柱(2)两侧的挡板(3)；所述挡板(3)的形状为正方形；所述支撑立柱(2)上设置有弧形缓冲部(4)；所述弧形缓冲部(4)上均匀分布有用于放置硅片(5)的弧形卡合槽(6)；所述挡板(3)上设有通孔(7)；所述通孔(7)的中心轴线与所述弧形缓冲部(4)和弧形卡合槽(6)的中心轴线在同一直线上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
