[实用新型]一种MOCVD设备远程监控系统有效
申请号: | 201620732011.3 | 申请日: | 2016-07-11 |
公开(公告)号: | CN205844875U | 公开(公告)日: | 2016-12-28 |
发明(设计)人: | 冯钊俊;方聪;靳恺;刘向平;张露;王雷 | 申请(专利权)人: | 中山德华芯片技术有限公司 |
主分类号: | G05B19/418 | 分类号: | G05B19/418 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司44245 | 代理人: | 梁莹 |
地址: | 528437 广东省中山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种MOCVD设备远程监控系统,主要由现场设备、环境检测系统、集中监控系统组成;现场设备和环境检测系统与集中控制系统通过以太网网络连接;现场设备主要由现场侧PLC、现场工控机以及网络交换机组成,现场侧PLC与现场工控机通过网线连接到网络交换机;环境检测系统主要由PLC、平板电脑、路由器组成,PLC与平板电脑通过网线连接到路由器,PLC通过屏蔽电缆连接有多个传感器,平板电脑通过网线分别连接门禁及监控摄像头;集中控制系统主要由工控电脑、无线装置以及交换机组成,所述交换机通过网线分别与工控电脑、无线装置连接。本实用新型能够实现对MOCVD设备的远程实时监控。 | ||
搜索关键词: | 一种 mocvd 设备 远程 监控 系统 | ||
【主权项】:
一种MOCVD设备远程监控系统,其特征在于:主要由现场设备、环境检测系统、集中监控系统三者组成;所述现场设备和环境检测系统分别与集中控制系统通过以太网网络连接,能够通过互联网远程访问集中监控系统;所述现场设备主要由现场侧PLC、现场工控机以及网络交换机组成,所述现场侧PLC装有通信模块,其与现场工控机通过网线连接到网络交换机;所述环境检测系统主要由PLC、平板电脑、路由器、门禁、监控摄像头、温度探头、可燃气体检测器、氨气检测器、复合式火灾探测器、漏水探测器组成,所述PLC、平板电脑、路由器装在同一箱体中,所述PLC上装有通信模块,其与平板电脑通过网线连接到路由器,所述PLC通过屏蔽电缆分别与温度探头、可燃气体检测器、氨气检测器、复合式火灾探测器、漏水探测器连接,所述平板电脑通过网线分别连接门禁及监控摄像头;所述集中控制系统主要由工控电脑、无线装置以及交换机组成,所述交换机通过网线分别与工控电脑、无线装置连接,并且连接到互联网,能够通过互联网与远程电脑或手机通信,所述无线装置配有SIM卡;所述网络交换机、路由器、交换机三者通过网线互联,实现相互间的数据信号传输。
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