[实用新型]一种单晶硅石墨底部加热器有效
| 申请号： | 201620642564.X | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN205711040U | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 李为兵;姜明理;刘海涛 | 申请（专利权）人： | 山东伟基炭科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B35/00 |
| 代理公司： | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人： | 刘莎莎 |
| 地址： | 250102 山东省济南*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅石墨底部加热器，该加热器包括底部加热器本体和电极脚。所述的底部加热器本体包括沿左右方向对称布置的连接板，两个所述的连接板之间设置有沿上下方向对称布置的发热体。所述发热体包括第一蛇形体，和位于两个所述第一蛇形体之间的第二蛇形体，所述的第一蛇形体和第二蛇形体共同形成一个“T”字形。所述的发热体和连接板共同形成了中间具有第一空隙的“十”字结构，且所述第一空隙的内切圆的直径大于所述托盘底部的直径。所述的连接板上通过螺纹连接有电极脚。该底部加热器不仅能够有效的降低加工成本和加工时间，节约加工原料，而且能够有效的提高通气率，延长加热器的使用寿命，提高晶体的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 石墨 底部 加热器 | ||
【主权项】：
一种单晶硅石墨底部加热器，包括底部加热器本体和电极脚，其特征在于：所述的底部加热器本体包括沿左右方向对称布置的连接板；两个所述的连接板之间设置有沿上下方向对称布置的发热体；所述发热体包括第一蛇形体，和位于两个所述第一蛇形体之间的第二蛇形体，所述的第一蛇形体和第二蛇形体共同形成一个“T”字形，且所述发热体的中部设置有用于容纳托盘底部的凹槽；所述的发热体和连接板共同形成了中间具有第一空隙的“十”字结构，且所述第一空隙的内切圆的直径大于所述托盘底部的直径；所述的连接板上设置有电极脚，且所述的电极脚与连接板之间通过螺纹相连接。
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