[实用新型]一种MEMS压力传感器有效
申请号: | 201620638127.0 | 申请日: | 2016-06-24 |
公开(公告)号: | CN205719398U | 公开(公告)日: | 2016-11-23 |
发明(设计)人: | 郑立新;郑正非;郑立军 | 申请(专利权)人: | 新昌县科畅科技咨询有限公司 |
主分类号: | G01L19/14 | 分类号: | G01L19/14 |
代理公司: | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人: | 刘晓春 |
地址: | 312500 浙江省绍兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种MEMS压力传感器,包括壳体、MEMS压力传感元件、控制器,所述壳体呈长方体形,且壳体内形成一容置腔,该容置腔的底部安装有MEMS压力传感元件和控制器,MEMS压力传感元件和控制器相互电连接,所述壳体的六个内壁上都设有至少一个通气孔,所述各通气孔的两端口均呈喇叭口状。本实用新型结构简单,采用MEMS压力传感元件能极大地提升压力传感器的测量精度。通过在壳体上开设多个通气孔,有效实现MEMS压力传感器内外部气流的及时流通,确保压力传感器的性能。另外,喇叭口的通气孔具有导流作用,能促进空气的对流。 | ||
搜索关键词: | 一种 mems 压力传感器 | ||
【主权项】:
一种MEMS压力传感器,包括壳体、MEMS压力传感元件、控制器,其特征在于:所述壳体呈长方体形,且壳体内形成一容置腔,该容置腔的底部安装有MEMS压力传感元件和控制器,MEMS压力传感元件和控制器相互电连接,所述壳体的六个内壁上都设有至少一个通气孔,所述各通气孔的两端口均呈喇叭口状。
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