[实用新型]一种硅片盒自动切换平面压制装置有效

专利信息
申请号: 201620418932.2 申请日: 2016-05-10
公开(公告)号: CN205621754U 公开(公告)日: 2016-10-05
发明(设计)人: 张弛;王志刚;孙小俊;王四海 申请(专利权)人: 南京卓胜自动化设备有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 肖明芳
地址: 210000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供了一种硅片盒自动切换平面压制装置,包括气缸、导轨和压制机构,所述导轨上设有可沿导轨移动的导轨滑块,所述压制机构与导轨滑块固定连接,所述气缸连接导轨滑块。包括底座,所述底座上设有卡位板,用于对硅片盒的下移位置进行限定。包括底座上设有固定背板,所述固定背板上设有第一驱动电机,第一驱动电机控制气缸,控制压制机构移动。所述压制机构包括一压制板,压制板压制面为平面压制,使得硅片压制更为平整。所述底座上设有同步带,底座下设有第二驱动电机,第二驱动电机驱动同步带,用于带动硅片盒移动,便于压制板对硅片盒内的硅片进行压制。
搜索关键词: 一种 硅片 自动 切换 平面 压制 装置
【主权项】:
一种硅片盒自动切换平面压制装置,其特征在于,包括底座(12),所述底座(12)一侧设有固定背板(6),所述固定背板(6)上设有气缸(2)、导轨(7)和压制机构(1),所述导轨(7)上设有导轨滑块(11),所述气缸(2)驱动导轨滑块(11)沿导轨移动,所述压制机构(1)与导轨滑块(11)固定连接并跟随导轨滑块(11)移动。
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