[实用新型]一种硅片盒自动切换平面压制装置有效
申请号: | 201620418932.2 | 申请日: | 2016-05-10 |
公开(公告)号: | CN205621754U | 公开(公告)日: | 2016-10-05 |
发明(设计)人: | 张弛;王志刚;孙小俊;王四海 | 申请(专利权)人: | 南京卓胜自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 肖明芳 |
地址: | 210000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种硅片盒自动切换平面压制装置,包括气缸、导轨和压制机构,所述导轨上设有可沿导轨移动的导轨滑块,所述压制机构与导轨滑块固定连接,所述气缸连接导轨滑块。包括底座,所述底座上设有卡位板,用于对硅片盒的下移位置进行限定。包括底座上设有固定背板,所述固定背板上设有第一驱动电机,第一驱动电机控制气缸,控制压制机构移动。所述压制机构包括一压制板,压制板压制面为平面压制,使得硅片压制更为平整。所述底座上设有同步带,底座下设有第二驱动电机,第二驱动电机驱动同步带,用于带动硅片盒移动,便于压制板对硅片盒内的硅片进行压制。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 自动 切换 平面 压制 装置 | ||
【主权项】:
一种硅片盒自动切换平面压制装置,其特征在于,包括底座(12),所述底座(12)一侧设有固定背板(6),所述固定背板(6)上设有气缸(2)、导轨(7)和压制机构(1),所述导轨(7)上设有导轨滑块(11),所述气缸(2)驱动导轨滑块(11)沿导轨移动,所述压制机构(1)与导轨滑块(11)固定连接并跟随导轨滑块(11)移动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的