[实用新型]一种硅晶片的清洗工件

摘要

本实用新型涉及一种硅晶片的清洗工件，属于硅晶片工装领域，包括工件底座，所述工件底座上设有滑槽，所述滑槽上设有滑块，所述滑块顶部连接旋转电机，所述旋转电机顶部连接减速器，所述减速器顶部连接硅第一支撑杆，所述第一支撑杆从上到下依次设有储水槽与转速传感器，所述储水槽底端设有出水口，所述第一支撑杆顶端连接硅晶片框，所述工件底座一侧连接第二支撑杆，所述第二支撑杆一侧设有冲洗喷头，本实用新型专利结构简单，通过设置旋转电机，使硅晶片在冲洗过程中可以自由旋转，又可控制转速，从而使清洗更加彻底，节约了冲洗过程中的用水，同时设置了滑槽，使硅晶片框可以在工件底座上水平移动，方便了硅晶片的安装，又使清洗工作更加省力。

主权项

一种硅晶片的清洗工件，包括工件底座(1)，所述工件底座(1)上设有滑槽(2)，所述滑槽(2)上设有滑块(3)，所述滑块(3)顶部连接旋转电机(4)，所述旋转电机(4)顶部连接减速器(5)，所述减速器(5)顶部连接第一支撑杆(6)，所述第一支撑杆(6)从上到下依次设有储水槽(8)与转速传感器(7)，所述储水槽(8)底端设有出水口(9)，所述第一支撑杆(6)顶端连接硅晶片框(10)，所述工件底座(1)一侧连接第二支撑杆(11)，所述第二支撑杆(11)一侧设有冲洗喷头(12)。