[实用新型]一种防止石英舟取放混乱的装置有效
| 申请号： | 201620241629.X | 申请日： | 2016-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN205488065U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 王海涛;王禹;范磊;裴娜;刘红明 | 申请（专利权）人： | 天津英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 301510 天津市滨海新区津汉公*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种防止石英舟取放混乱的装置，包括舟架、并排放置的两个载有硅片的石英舟、PLC，所述PLC与显示屏连接，所述PLC控制设备机械手可以将所述载有硅片的石英舟从所述舟架上取走，所述左右放置的两个载有硅片的石英舟的下部各设有一个光电传感器，所述光电传感器与所述PLC通讯连接，所述显示屏上还设有确认上舟按钮，可有效的防止操作人员误操作造成石英舟取放混乱的现象，整套装置结构简单，成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 石英 舟取放 混乱 装置 | ||
【主权项】：
一种防止石英舟取放混乱的装置，包括舟架、并排放置的两个载有硅片的石英舟、PLC，所述PLC与显示屏连接，所述PLC控制设备机械手可以将所述载有硅片的石英舟从所述舟架上取走，其特征在于：所述左右放置的两个载有硅片的石英舟的下部各设有一个光电传感器，所述光电传感器与所述PLC通讯连接，所述显示屏上还设有确认上舟按钮。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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