[实用新型]微纳米三坐标测量机接触式扫描探头有效
| 申请号： | 201620173146.0 | 申请日： | 2016-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN205403689U | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 陈晶;程琳;周斌;李瑞君;程真英 | 申请（专利权）人： | 安徽电气工程职业技术学院;国网安徽省电力公司培训中心;合肥工业大学;国家电网公司 |
| 主分类号： | G01B7/012 | 分类号： | G01B7/012;G01B7/016 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230051 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微纳米三坐标测量机接触式扫描探头，其特征是在探头壳体中设置测头单元和测量单元；测头单元是以悬浮片(5a)在底座(6)的内腔中形成悬浮结构，在悬浮片的中心通孔中固定安装带有测球的探针，探针自底座的底部端口中探出，并且能够不受底座的底部端口的干扰而摆动；测量单元是设置在悬浮片的各悬臂上的电容传感器；本实用新型利用电容传感器的输出信号作为探头的检测信号，能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果，同时具有高稳定性和低成本的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 坐标 测量 接触 扫描 探头 | ||
【主权项】：
一种微纳米三坐标测量机接触式扫描探头，其特征是：由圆筒体(1)和承接在圆筒体(1)的底部的呈圆台体的底座(6)构成探头壳体，在所述探头壳体中设置测头单元和测量单元；所述测头单元是在底座(6)的底座内腔(6b)中设置呈“十”字的悬浮片(5a)，在所述悬浮片(5a)的顶面、处相邻悬臂之间的夹角处分别连接有悬臂簧片(5b)，所述悬臂簧片(5b)的另一端连接在底座(6)的顶部圆环形端面上，形成悬浮片(5a)在底座(6)的内腔中的悬浮结构；在所述悬浮片(5a)的中心通孔中固定安装带有红宝石测球(5e)的探针(5d)，所述探针(5d)自底座(6)的底部端口中探出，并且能够不受底座(6)的底部端口的干扰而摆动；所述测量单元是设置在所述悬浮片(5a)的各悬臂上的电容传感器；所述悬浮片(5a)中呈“十”字的各悬臂在沿顺时针方向依次为第一悬臂、第二悬臂、第三悬臂和第四悬臂，处在所述第一悬臂和第二悬臂上的电容传感器是在悬臂远端的上表面；处在第三悬臂和第四悬臂上的电容传感器是在悬臂远端的下表面。
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