[实用新型]一种双源掺杂用挡板开合控制系统有效
| 申请号： | 201620114856.6 | 申请日： | 2016-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN205529003U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 范洪涛;李轶文;邵爽;任雪艳 | 申请（专利权）人： | 固安鼎材科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 彭秀丽 |
| 地址： | 065500 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双源掺杂用挡板开合控制系统，包括蒸发源压环和与所述蒸发源压环形成配合连接的圆形挡板，所述系统还包括曲柄连杆机构和横臂梁，所述横臂梁的两端分别与两相邻的所述圆形挡板铰接，所述横臂梁与所述曲柄连杆机构固定连接，所述曲柄连杆机构上设有用于驱动所述横臂梁沿直线运动的转轴，所述转轴旋转并驱动所述横臂梁作往复移动，使两所述圆形挡板同时与其对应的所述蒸发源压环实现开合。本实用新型解决当前有机电致发光沉积系统在进行双组分掺杂的过程中存在的双源挡板开合不同步的问题，提高了双源掺杂的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 挡板 控制系统 | ||
【主权项】：
一种双源掺杂用挡板开合控制系统，包括蒸发源压环(1)和与所述蒸发源压环(1)形成配合连接的圆形挡板(2)，其特征在于，所述系统还包括曲柄连杆机构(3)和横臂梁(4)，所述横臂梁(4)的两端分别与两相邻的所述圆形挡板(2)铰接，所述横臂梁(4)与所述曲柄连杆机构(3)固定连接，所述曲柄连杆机构(3)上设有用于驱动所述横臂梁(4)沿直线运动的转轴(9)；所述转轴(9)旋转并驱动所述横臂梁(4)作往复移动，使两所述圆形挡板(2)同时与其对应的所述蒸发源压环(1)实现开合。
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