[实用新型]一种硅片数控多线切割机

摘要

本实用新型公开了一种硅片数控多线切割机，涉及硅片加工设备技术领域。一种硅片数控多线切割机，包括支架，支架顶端设置第一伺服电机，第一伺服电机输出轴上设置丝杠，丝杠位于第一伺服电机下方，丝杠上安装丝母，丝母两端设置连接杆，支架侧壁上设置凹槽，连接杆一端位于支架侧壁的凹槽内，连接杆另一端设置直轴，直轴位于连接杆下方，直轴底端设置托板，托板底端设置玻璃板，所述玻璃板底端设置硅锭，硅锭与玻璃板底端胶接，硅锭下方设置传动装置。托板底端设置滑槽，滑槽上设置滚花纹，玻璃板位于滑槽内。本实用新型的有益效果是：本装置结构简单，运行平稳，噪声小，切割效率高，切割的硅片表面平整度高，厚度均匀，精度高。

主权项

一种硅片数控多线切割机，其特征在于：包括支架(1)，所述支架(1)顶端设置第一伺服电机(2)，所述第一伺服电机(2)输出轴上设置丝杠(3)，所述丝杠位于第一伺服电机(2)下方，所述丝杠(3)上安装丝母(4)，所述丝母(4)两端设置连接杆(5)，所述支架(1)侧壁上设置凹槽，所述连接杆(5)一端位于支架(1)侧壁的凹槽内，所述连接杆(5)与支架(1)侧壁滑动连接，所述连接杆(5)另一端设置直轴(7)，所述直轴(7)位于连接杆(5)下方，所述直轴(7)底端设置托板(8)，所述托板(8)底端设置玻璃板(10)，所述玻璃板(10)底端设置硅锭(11)，所述硅锭(11)与玻璃板(10)底端胶接，所述硅锭(11)下方设置传动装置。