[实用新型]一种硅片数控多线切割机

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备技术领域，具体是一种硅片数控多线切割机。

背景技术

硅片是半导体与光伏领域必不可少的主要材料，每生产1MW的太阳能光伏 电池组件就需要16吨左右的原料，除此之外，单晶硅又是半导体器件生产的关 键基料，硅占整个半导体材料的90％以上。目前硅片，特别是光伏产业大量应 用的硅片，主要是由圆柱形的硅锭切割而成的。传统的切割方式有刀具片、砂 轮片、内圆切割、激光切割等，近几年又出现了多线切割等技术。这些切割方 式存在以下问题：

1、传统切割方式如内圆刀具切割或激光切割等，切割的表面平整度及厚度 都不尽理想，且材料的成品率低。

2、现有硅片数控多线切割机结构复杂，调节困难，运行时不够稳定，切割 时噪声较大，影响到芯片切割的精度。

实用新型内容

为解决现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片数控多线切割机，它 结构简单，运行平稳，切割芯片的效率和精度都较高。

本实用新型为实现上述目的，通过以下技术方案实现：一种硅片数控多线 切割机，包括支架，所述支架顶端设置第一伺服电机，所述第一伺服电机输出 轴上设置丝杠，所述丝杠位于第一伺服电机下方，所述丝杠上安装丝母，所述 丝母两端设置连接杆，所述支架侧壁上设置凹槽，所述连接杆一端位于支架侧 壁的凹槽内，所述连接杆与支架侧壁滑动连接，所述连接杆另一端设置直轴， 所述直轴位于连接杆下方，所述直轴底端设置托板，所述托板底端设置玻璃板， 所述玻璃板底端设置硅锭，所述硅锭与玻璃板底端胶接，所述硅锭下方设置传 动装置。

所述传动装置包括第二伺服电机，所述第二伺服电机一端设置第一固定杆， 所述第二伺服电机另一端设置主动轮，还包括两个从动轮，所述从动轮一端设 置第二固定杆，所述第二固定杆与从动轮上的轴承相连接，所述主动轮与从动 轮之间安装若干切割丝。

所述托板底端设置滑槽，所述滑槽上设置滚花纹，所述玻璃板位于滑槽内。

对比现有技术，本实用新型的有益效果是：

1、本装置采用的多线切割方式为带传动，结构简单，切割丝安装在主动轮 和两个从动轮中间，运行平稳，噪声小，切割效率高，切割的硅片表面平整度 高，厚度均匀，精度高。

2、托板和玻璃板之间滑动连接，再加上滑槽内设置滚条纹，增大摩擦，使 托板和玻璃板的连接更加牢固，避免因玻璃板掉落引起硅锭的损坏，提高硅片 成品率。

3、第一伺服电机和第二伺服电机均由控制器闭环控制，保证了硅锭的推进 速度和切割丝的速度能够合理配合，提高加工效率。

附图说明

附图1是本实用新型主视图结构示意图；

附图2是本实用新型左视图结构示意图；

附图3是本实用新型I部放大图。

附图中所示标号：1、支架；2、第一伺服电机；3、丝杠；4、丝母；5、连 接杆；6、轴承；7、直轴；8、托板；9、滑槽；10、玻璃板；11、硅锭；12、 主动轮；13、从动轮；14、第二伺服电机；15、切割丝；16、第一固定杆；17、 第二固定杆。

具体实施方式

结合附图和具体实施例，对本实用新型作进一步说明。应理解，这些实施 例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅 读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改 动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

一种硅片数控多线切割机，包括支架1，所述支架1顶端设置第一伺服电机 2，所述第一伺服电机2输出轴上设置丝杠3，所述丝杠3位于第一伺服电机2 下方，所述丝杠3上安装丝母4，所述丝母4两端设置连接杆5，所述支架1侧 壁上设置凹槽，所述连接杆5一端位于支架1侧壁的凹槽内，所述连接杆5与 支架1侧壁滑动连接，所述连接杆5另一端设置直轴7，所述直轴7位于连接杆 5下方，所述直轴7底端设置托板8，所述托板8底端设置玻璃板10，所述玻璃 板10底端设置硅锭11，所述硅锭11与玻璃板10底端胶接，所述硅锭11下方 设置传动装置。