[实用新型]一种硅片数控多线切割机

权利要求书

1.一种硅片数控多线切割机，其特征在于：包括支架(1)，所述支架(1) 顶端设置第一伺服电机(2)，所述第一伺服电机(2)输出轴上设置丝杠(3)， 所述丝杠位于第一伺服电机(2)下方，所述丝杠(3)上安装丝母(4)，所述 丝母(4)两端设置连接杆(5)，所述支架(1)侧壁上设置凹槽，所述连接杆 (5)一端位于支架(1)侧壁的凹槽内，所述连接杆(5)与支架(1)侧壁滑 动连接，所述连接杆(5)另一端设置直轴(7)，所述直轴(7)位于连接杆(5) 下方，所述直轴(7)底端设置托板(8)，所述托板(8)底端设置玻璃板(10)， 所述玻璃板(10)底端设置硅锭(11)，所述硅锭(11)与玻璃板(10)底端胶 接，所述硅锭(11)下方设置传动装置。

2.根据权利要求1所述的一种硅片数控多线切割机，其特征在于：所述传 动装置包括第二伺服电机(14)，所述第二伺服电机(14)一端设置第一固定杆 (16)，所述第二伺服电机(14)另一端设置主动轮(12)，还包括两个从动轮 (13)，所述从动轮(13)一端设置第二固定杆(17)，所述第二固定杆(17) 与从动轮(13)上的轴承(6)相连接，所述主动轮(12)与从动轮(13)之间 安装若干切割丝(15)。

3.根据权利要求1所述的一种硅片数控多线切割机，其特征在于：所述托 板(8)底端设置滑槽(9)，所述滑槽(9)上设置滚花纹，所述玻璃板(10) 位于滑槽(9)内。