[实用新型]一种光刻胶供给装置和光刻胶涂布系统

摘要

本实用新型公开了一种光刻胶供给装置和光刻胶涂布系统，涉及显示技术领域，解决了光刻胶供给装置的工作效率低和各管路的接口的使用寿命短的技术问题。该光刻胶供给装置包括容器和供胶单元，供胶单元包括出胶管路和进气管路，出胶管路的第一端伸入容器底部，进气管路的第一端伸入容器顶部，光刻胶供给装置还包括清洗管路、传输管路、第一连接管路和第二连接管路，传输管路用于将光刻胶传输至光刻胶涂布装置；出胶管路的第二端通过第二连接管路与传输管路的第一端连通，清洗管路的第一端通过第一连接管路与传输管路的第一端连通；第一连接管路和第二连接管路上各设置有一个开关阀门。本实用新型用于在构图工艺中涂布光刻胶。

主权项

一种光刻胶供给装置，包括用于盛放光刻胶的容器和位于所述容器的口部的供胶单元，所述供胶单元包括出胶管路和进气管路，其中，所述出胶管路的第一端伸入所述容器底部，所述进气管路的第一端伸入所述容器顶部，其特征在于，所述光刻胶供给装置还包括清洗管路、传输管路、第一连接管路和第二连接管路，所述传输管路用于将所述光刻胶传输至光刻胶涂布装置；所述出胶管路的第二端通过所述第二连接管路与所述传输管路的第一端连通，所述清洗管路的第一端通过所述第一连接管路与所述传输管路的第一端连通；所述第一连接管路和所述第二连接管路上各设置有一个开关阀门。