[实用新型]一种光刻胶供给装置和光刻胶涂布系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种光刻胶供给装置和光刻胶涂布系 统。

背景技术

在制作显示基板的过程中，需要通过构图工艺形成具有图案的各个膜层，通常构 图工艺包括涂布光刻胶、掩膜、曝光、显影等步骤。其中，在涂布光刻胶的步骤中，需要使用 光刻胶涂布系统。

现有的光刻胶涂布系统包括相连通的光刻胶供给装置和光刻胶涂布装置，其中， 光刻胶供给装置包括用于盛放光刻胶的容器和位于容器口部、将容器密封的供胶单元。该 供胶单元包括出胶管路和进气管路，其中，出胶管路的一端伸入容器底部，出胶管路的另一 端通过传输管路连接至光刻胶涂布装置，进气管路的一端伸入容器顶部。该光刻胶供给装 置提供光刻胶的过程如下：通过进气管路向容器内通入压缩干燥空气，使容器内的压强增 大，进而将光刻胶压迫至出胶管路中，并通过传输管路传输至光刻胶涂布装置中。在制作显 示基板的过程中通常需要更换光刻胶以满足不同的需要，在更换光刻胶需要对传输管路进 行清洗时，需要人工将传输管路与出胶管路断开，然后将传输管路与清洗接口连通，通过清 洗接口向传输管路中依次通入压缩干燥空气、清洗料液和压缩干燥空气对其进行清洗，最 后再人工将传输管路与清洗接口断开，并将传输管路与出胶管路连通。

然而本申请的发明人发现，在上述过程中，不仅需要对传输管路的接口和出胶管 路的接口以及清洗接口进行清洁(为避免各接口上残留光刻胶或者有异物混入)，导致工作 效率低，而且人工将将各接口之间断开或者连通的机械动作会使得各接口的磨损较大，使 用寿命较短。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻胶供给装置和光刻胶涂布系统，用于提高光 刻胶供给装置的工作效率，并延长光刻胶供给装置中的各管路的接口的使用寿命。

为达到上述目的，本实用新型提供一种光刻胶供给装置，采用如下技术方案：

该光刻胶供给装置包括用于盛放光刻胶的容器和位于所述容器的口部的供胶单 元，所述供胶单元包括出胶管路和进气管路，其中，所述出胶管路的第一端伸入所述容器底 部，所述进气管路的第一端伸入所述容器顶部，所述光刻胶供给装置还包括清洗管路、传输 管路、第一连接管路和第二连接管路，所述传输管路用于将所述光刻胶传输至光刻胶涂布 装置；所述出胶管路的第二端通过所述第二连接管路与所述传输管路的第一端连通，所述 清洗管路的第一端通过所述第一连接管路与所述传输管路的第一端连通；所述第一连接管 路和所述第二连接管路上各设置有一个开关阀门。

本实用新型提供一种如上所述的光刻胶供给装置，在更换光刻胶需要对传输管路 进行清洗时，只要使第一连接管路上设置的开关阀门开启，第二连接管路上设置的开关阀 门关闭，从清洗管路的第二端依次通入压缩干燥空气、清洗料液和压缩干燥空气即可对传 输管路进行清洗，清洗结束后，只要使第一连接管路上设置的开关阀门关闭，第二连接管路 上设置的开关阀门开启，从进气管路的第二端通入压缩干燥空气即可使光刻胶沿着出胶管 路和传输管路传输至光刻胶涂布装置中。在上述过程中，只需要控制各开关阀门的开启和 关闭即可，无需人工将各管路进行断开或者连通，因此，能够有效提高光刻胶供给装置的工 作效率，并避免各管路的接口之间因断开或者连通的机械动作而导致的磨损，延长了光刻 胶供给装置中的各管路的接口的使用寿命。

此外，本实用新型还提供一种光刻胶涂布系统，该光刻胶涂布系统包括如上所述 的光刻胶供给装置和与所述光刻胶供给装置连通的光刻胶涂布装置。

由于该光刻胶涂布系统包括如上所述的光刻胶供给装置，因此，该光刻胶涂布系 统具有和上述光刻胶供给装置相同的有益效果，此处不再进行赘述。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例 描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新 型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根 据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中的光刻胶供给装置的结构图一；

图2为本实用新型实施例中的光刻胶供给装置的结构图二；

图3为本实用新型实施例中的光刻胶涂布系统的结构图。

附图标记说明：

1—容器；21—出胶管路；22—进气管路；