[实用新型]一种光刻胶供给装置和光刻胶涂布系统

权利要求书

1.一种光刻胶供给装置，包括用于盛放光刻胶的容器和位于所述容器的口部的供胶单 元，所述供胶单元包括出胶管路和进气管路，其中，所述出胶管路的第一端伸入所述容器底 部，所述进气管路的第一端伸入所述容器顶部，其特征在于，

所述光刻胶供给装置还包括清洗管路、传输管路、第一连接管路和第二连接管路，所述 传输管路用于将所述光刻胶传输至光刻胶涂布装置；所述出胶管路的第二端通过所述第二 连接管路与所述传输管路的第一端连通，所述清洗管路的第一端通过所述第一连接管路与 所述传输管路的第一端连通；所述第一连接管路和所述第二连接管路上各设置有一个开关 阀门。

2.根据权利要求1所述的光刻胶供给装置，其特征在于，还包括第三连接管路，所述第 三连接管路的第一端与所述第一连接管路连通，所述第三连接管路的第二端与所述第二连 接管路的位于其上设置的开关阀门和所述出胶管路之间的部分连通，所述第三连接管路上 设置有一个开关阀门。

3.根据权利要求2所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述第三连接管路的第一端与 位于所述第一连接管路的位于其上设置的开关阀门和所述传输管路之间的部分连通。

4.根据权利要求1所述的光刻胶供给装置，其特征在于，还包括第一光刻胶过滤器，所 述第一光刻胶过滤器的进胶口通过第四连接管路与所述传输管路的第二端连通，且所述第 一光刻胶过滤器的出胶口与所述光刻胶涂布装置连通，所述第四连接管路上设置有一个开 关阀门。

5.根据权利要求4所述的光刻胶供给装置，其特征在于，还包括第二光刻胶过滤器，所 述第二光刻胶过滤器的进胶口通过第五连接管路与所述传输管路的第二端连通，且所述第 二光刻胶过滤器的出胶口与所述光刻胶涂布装置连通，所述第五连接管路上设置有一个开 关阀门。

6.根据权利要求1所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述供胶单元还包括排气管 路，所述排气管路的第一端伸入所述容器顶部。

7.根据权利要求6所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述排气管路上设置有一个开 关阀门。

8.根据权利要求6或7所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述供胶单元还包括连接 于所述排气管路上的压力表，所述压力表用于检测所述容器内的压力。

9.根据权利要求1所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述进气管路上设置有一个开 关阀门。

10.一种光刻胶涂布系统，其特征在于，包括如权利要求1～9任一项所述的光刻胶供给 装置和与所述光刻胶供给装置连通的光刻胶涂布装置。