[发明专利]原位电化学SEM液体芯片组件、其制备方法与应用有效
| 申请号： | 201611259562.3 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN108279245B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 张跃钢;张心怡;侯远;荣根兰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;H01J37/28 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种原位电化学SEM液体芯片组件、其制备方法与应用。所述芯片组件包括密封结合的基片和盖片以及储液池和至少两个电极，所述储液池至少用以容纳电解液，该至少两个电极彼此间隔设置，所述电极的至少局部分布于储液池内，所述基片或盖片上与储液池对应位置处还分布有观察窗口，所述观察窗口至少用以对储液池内的物质进行观测，所述观察窗口上密封覆盖有至少可供电子束通过的薄膜，所述芯片组件还包括与储液池连通的注液孔。本发明大幅简化了原位SEM芯片组件的构造，降低其制造成本及使用难度，且其通用性强，利于在电化学反应过程中进行原位SEM表征等。 | ||
| 搜索关键词： | 原位 电化学 sem 液体 芯片 组件 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种原位电化学SEM液体芯片组件，其特征在于包括密封结合的基片和盖片，且所述芯片组件内还设有储液池和至少两个电极，所述储液池至少用以容纳电解液，所述的至少两个电极彼此间隔设置，所述电极的至少局部分布于所述储液池内，所述基片或盖片上与储液池对应位置处还分布有观察窗口，所述观察窗口至少用以对储液池内的物质进行观测，所述观察窗口上密封覆盖有至少可供电子束通过的薄膜，所述原位电化学SEM液体芯片组件还包括与所述储液池连通的注液孔。
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