[发明专利]磷化铟多晶水平合成装置及压力平衡控制方法有效
| 申请号： | 201611227646.9 | 申请日： | 2016-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN106757360B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 赵有文;段满龙 | 申请（专利权）人： | 珠海鼎泰芯源晶体有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B28/06 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 陈英俊;许向彤 |
| 地址： | 519085 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种磷化铟多晶水平合成装置及压力平衡控制方法，所述磷化铟多晶水平合成装置包括：合成炉，所述合成炉内部设置合成炉加热体，所述合成炉加热体由多段加热区构成的；石英管，位于合成炉加热体内部，其特征在于：所述磷化铟多晶水平合成装置还包括充放气控制系统，用于控制合成炉体内压力，以及温度控制系统，用于控制合成炉炉体内温度。本发明通过控制温度进而控制石英管内部压力，通过充放气控制系统控制石英管外部压力，有效的控制反应过程中石英管内外的压力平衡，避免合成过程中出现的由于石英管内外压力不平衡“炸管”产生，提高磷化铟多晶合成的效率和成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 磷化 多晶 水平 合成 装置 压力 平衡 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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